五、结论 综上所述,MEMS扬声器是一种基于微机电系统技术的新型扬声器,其工作原理是利用静电力将电信号转换为机械振动,从而产生声音。相比传统扬声器,MEMS扬声器具有更小的体积、更高的效率和更好的音质表现。它已经广泛应用于移动设备、智能家居、汽车音响等领域,并被认为是未来扬声器技术发展方向之一。©...
4.MEMS扬声器的工作原理 MEMS扬声器工作时,通过施加驱动电极和固定电极之间的电场,使得振膜受力并发生振动。当电场的方向改变时,振膜会产生正、负交替的运动,从而产生声音。 MEMS扬声器的电振荡技术 5.MEMS扬声器的电振荡原理 电振荡是指通过施加交流电场使振膜产生机械振动。MEMS扬声器采用了谐振电路进行电振荡,其中振膜...
由于所提出的静电驱动方法只能产生单向力,因此悬浮式MEMS器件的电极配置需要加倍,以允许其在任何方向和方位上进行驱动。 图2 悬浮式MEMS扬声器的示意图(突出显示各种驱动电极) 制造工艺 研究人员设计的悬浮式MEMS扬声器使用MEMSCAP的商业化PolyMUMPS制造工艺,这是一种三层多晶硅表面微加工工艺,可实现横向和纵向换能间隙。...