一种聚合物压电MEMS加速度计新设计方案 MEMS加速度计通过微结构内发生的电容、电阻或电荷(压电)变化来检测机械加速度,现已成为仅次于压力传感器,应用量排名第二的MEMS器件。MEMS加速度计一直以来常用于振动监测、汽车测试和惯性导航等应用,最近的研究凸显了MEMS加速度计在健康监测和植入式助听器中的应用潜力。早期的MEMS...
全面的分析为设计针对特定应用需求的P-VEH器件提供了有价值的见解,几何参数与性能指标之间的相互作用使工程师能够在保持结构完整性和运行稳定性的同时,优化器件设计以获得最大的能量收集效率。 参考文献 [1] S. Saxena, R. Sharma, and B. D. Pant, "Design and Development of MEMS based Guided Beam Type P...
这一新型芯片制备工艺的亮点在于其聚合物的应用,能够在MEMS元件中提供更强的支撑,优化了应力传递机制。通过刻蚀工艺在金属层和衬底上创造出贯穿的缝隙,聚合物的生长可以有效填充这些空间,提升了成品的强度与稳定性,为需要镂空设计的器件提供了更高的成品率。这种工艺不仅提升了产品的性能,也降低了生产过程中的材料浪费,...
分类号:TN384单位代码:10110学号:s20110617中北大学MEMS压电-磁电复合式微能源器件优化设计制造及其性能研究硕士研究生陈婷婷指导教师丑修建学科专业物理电子学2014年5月20日MEMS压电-磁电复合式微能源器件优化设计制造及其性能研究陈婷婷中北大学华北图书分类号TN384密级非密UDC注1621.3硕士学位论文MEMS压电-磁电复合式微能源...
随着智能设备行业的迅速发展,微机电系统(MEMS)技术日益成为创新的关键领域。最近,合肥领航微系统集成有限公司申请了一项名为“基于压电MEMS结构的芯片制备工艺”的专利,揭示了其在MEMS反射镜及振动台领域的应用潜力。此次专利不仅涵盖了芯片的制造工艺,更强调了高强度支撑和残余应力传递的功能,有望在智能设备的多个领域引...
基于Vesper专利的压电MEMS麦克风VM2020设计 据报道,全球最先进的压电MEMS麦克风开发商Vesper近日宣布推出了一款超高AOP差分模拟输出压电MEMS麦克风VM2020。VM2020是首款采用标准外形和封装的大规模量产的消费类超高AOP麦克风。这款压电MEMS麦克风可以在极其嘈杂的环境中拾音而不会失真。
这个问题从某种程度上也反映了目前MEMS研发面临的问题和挑战,尤其应对PZT压电薄膜这种体材料。PZT压电薄膜材料应用广泛,比如用于动态力传感器,光学微振镜,涂布摸头,加速度计,陀螺仪,红外探测,换能器,超声阵列,能量收集转换等。 MEMS设计涉及到多学科交叉知识,比如材料,机械,电子,甚至声学、光学、电磁学等,尤其是材料...
然而,传统的压电能量采集接口路通常需借助片外无源器件进行电压翻转来提高AC-DC的转换效率,以及利用无源器件设计DC-DC转换器来实现电压转换和最大功率点追踪(MPPT)。这些方案牺牲了系统的集成度,使之难以应用于对系统体积具有严格限制的场景中,如植入式医疗设备与微机电系统(MEMS)等。
然而,传统的压电能量采集接口路通常需借助片外无源器件进行电压翻转来提高AC-DC的转换效率,以及利用无源器件设计DC-DC转换器来实现电压转换和最大功率点追踪(MPPT)。这些方案牺牲了系统的集成度,使之难以应用于对系统体积具有严格限制的场景中,如植入式医疗设备与微机电系统(MEMS)等。
COMSOL是一款大型的高级数值仿真软件,广泛应用于各个领域的科学研究以及工程计算,在多物理场耦合分析方面有其独到的优势,因此被应用于各个相关科研和产品研发领域,在我国拥有非常广阔的前景。多物理场耦合仿真分析是近年来应用比较广泛的有...