一种聚合物压电MEMS加速度计新设计方案 MEMS加速度计通过微结构内发生的电容、电阻或电荷(压电)变化来检测机械加速度,现已成为仅次于压力传感器,应用量排名第二的MEMS器件。MEMS加速度计一直以来常用于振动监测、汽车测试和惯性导航等应用,最近的研究凸显了MEMS加速度计在健康监测和植入式助听器中的应用潜力。早期的MEMS...
它是利用音叉振动的原理设计的,采用压电器件实现音叉棒的振动驱动 2022-05-10 15:44:47 印度研发水下压电MEMS声学传感器,满足国防应用需求 在全球范围内,美国、欧洲、韩国、日本和中国的许多研究小组和国防实验室都投入了压电技术的开发。多家压电MEMS代工厂正在生产面向国防和民用应用的各种压电MEMS器件。目前,基于...
该芯片的制造过程包括在衬底上依次生长金属层和压电层,通过精细化的刻蚀工艺形成缝隙结构,并在缝隙中生长聚合物。这种创新的设计不仅提高了声学器件的成品率,还有效防止了漏音现象,极大提升了设备的声学性能和可靠性。 当应用于MEMS反射镜或振动台时,这款新芯片的表现更加令人印象深刻。其设计能提供卓越的结构支撑,能够...
这一新型芯片制备工艺的亮点在于其聚合物的应用,能够在MEMS元件中提供更强的支撑,优化了应力传递机制。通过刻蚀工艺在金属层和衬底上创造出贯穿的缝隙,聚合物的生长可以有效填充这些空间,提升了成品的强度与稳定性,为需要镂空设计的器件提供了更高的成品率。这种工艺不仅提升了产品的性能,也降低了生产过程中的材料浪费,...
高平整度、低缺陷和片上异质压电材料集成技术难题,搭建具有完全自主知识产权的硅基PZT压电薄膜制造工艺技术平台和压电体硅(P-Si)、压电绝缘体上硅(P-SOI)两种工艺路线的 PZT 压电 MEMS 元器件的制造工艺技术平台,加速国产替代进程,促进国内 PZT 压电 MEMS 的设计、代工企业共同进步,推动我国的压电MEMS 产业的整体...
然而,传统的压电能量采集接口路通常需借助片外无源器件进行电压翻转来提高AC-DC的转换效率,以及利用无源器件设计DC-DC转换器来实现电压转换和最大功率点追踪(MPPT)。这些方案牺牲了系统的集成度,使之难以应用于对系统体积具有严格限制的场景中,如植入式医疗设备与微机电系统(MEMS)等。
然而,传统的压电能量采集接口路通常需借助片外无源器件进行电压翻转来提高AC-DC的转换效率,以及利用无源器件设计DC-DC转换器来实现电压转换和最大功率点追踪(MPPT)。这些方案牺牲了系统的集成度,使之难以应用于对系统体积具有严格限制的场景中,如植入式医疗设备与微机电系统(MEMS)等。
COMSOL是一款大型的高级数值仿真软件,广泛应用于各个领域的科学研究以及工程计算,在多物理场耦合分析方面有其独到的优势,因此被应用于各个相关科研和产品研发领域,在我国拥有非常广阔的前景。多物理场耦合仿真分析是近年来应用比较广泛的有...
开发更高效的能量转换材料(如机电、声电转换)是许多尖端应用研究中长期追求的目标,如医疗诊断领域和微机电系统(MEMS)。得益于其独特的压电效应,压电陶瓷被广泛用于上述领域的换能器和能量收集器当中。近年来,基于居里温度和压电性因素地综合...
形状自适应液态金属汞被用作另一种摩擦起电材料,以最大化与测量固体表面的接触面积。他们更新的定量摩擦电系列可以作为 TENG 设计的教科书标准。由于纺织品是高度多孔且可变形的材料,具有结构层次,因此从平面膜结构测量的摩擦电系列对于纺织材料可能不是很准确。所以,当摩擦带电过程在织物致密化压力下达到饱和时,可以...