一种聚合物压电MEMS加速度计新设计方案 MEMS加速度计通过微结构内发生的电容、电阻或电荷(压电)变化来检测机械加速度,现已成为仅次于压力传感器,应用量排名第二的MEMS器件。MEMS加速度计一直以来常用于振动监测、汽车测试和惯性导航等应用,最近的研究凸显了MEMS加速度计在健康监测和植入式助听器中的应用潜力。早期的MEMS...
它是利用音叉振动的原理设计的,采用压电器件实现音叉棒的振动驱动 2022-05-10 15:44:47 印度研发水下压电MEMS声学传感器,满足国防应用需求 在全球范围内,美国、欧洲、韩国、日本和中国的许多研究小组和国防实验室都投入了压电技术的开发。多家压电MEMS代工厂正在生产面向国防和民用应用的各种压电MEMS器件。目前,基于...
MEMS,即微电机系统,是一种集成了机械元件、传感器和电子器件的微型系统。鑫精诚的这款传感器,利用MEMS技术实现了对关节力矩的精准测量。它小巧的体积和高度集成化的设计,使得它可以轻松安装在机器人的各个关节处,为机器人提供实时的力反馈信息,从而使其动作更加流畅自然。 图片来源:鑫精诚传感器 鑫精诚在研发这两款产品...
具体而言,合肥领航采用聚合物辅助引线技术解决了传统打线过程中的复杂性和不对称性,避免了在凹槽内部架设悬梁的需求。这种对称结构的实现,不仅提高了器件的稳定性,还能有效提升其在高频环境下的性能。 从行业背景来看,压电芯片广泛应用于传感器、执行器以及各种微机电系统(MEMS)中,市场需求不断增长。然而,传统压电芯片制...
本工作中,上海微系统所欧欣研究团队发布了面向5G/6G声波器件的新型预定义压电异质衬底(PN-POI)解决方案(图1a)。预定义压电异质衬底可以通过预设的底部电极,选择性地利用水平电场或纵向电场激励声波模式,极大地扩展可用的声学模式和功能(图1b),其中由纵向电场激发的高阶声波模式兼具更大机电耦合系数和更高声速。欧欣研...
高平整度、低缺陷和片上异质压电材料集成技术难题,搭建具有完全自主知识产权的硅基PZT压电薄膜制造工艺技术平台和压电体硅(P-Si)、压电绝缘体上硅(P-SOI)两种工艺路线的 PZT 压电 MEMS 元器件的制造工艺技术平台,加速国产替代进程,促进国内 PZT 压电 MEMS 的设计、代工企业共同进步,推动我国的压电MEMS 产业的整体...
然而,传统的压电能量采集接口路通常需借助片外无源器件进行电压翻转来提高AC-DC的转换效率,以及利用无源器件设计DC-DC转换器来实现电压转换和最大功率点追踪(MPPT)。这些方案牺牲了系统的集成度,使之难以应用于对系统体积具有严格限制的场景中,如植入式医疗设备与微机电系统(MEMS)等。
然而,传统的压电能量采集接口路通常需借助片外无源器件进行电压翻转来提高AC-DC的转换效率,以及利用无源器件设计DC-DC转换器来实现电压转换和最大功率点追踪(MPPT)。这些方案牺牲了系统的集成度,使之难以应用于对系统体积具有严格限制的场景中,如植入式医疗设备与微机电系统(MEMS)等。
这个问题从某种程度上也反映了目前MEMS研发面临的问题和挑战,尤其应对PZT压电薄膜这种体材料。PZT压电薄膜材料应用广泛,比如用于动态力传感器,光学微振镜,涂布摸头,加速度计,陀螺仪,红外探测,换能器,超声阵列,能量收集转换等。 MEMS设计涉及到多学科交叉知识,比如材料,机械,电子,甚至声学、光学、电磁学等,尤其是材料...
COMSOL是一款大型的高级数值仿真软件,广泛应用于各个领域的科学研究以及工程计算,在多物理场耦合分析方面有其独到的优势,因此被应用于各个相关科研和产品研发领域,在我国拥有非常广阔的前景。多物理场耦合仿真分析是近年来应用比较广泛的有...