MEMS为传感器微型化、智能化与网络化的实现提供了技术支持,也为智能传感器应用与产业发展拓展了新的空间。纳机电系统(Aan- Electro-mechanical System,NEMS)是继MEMS之后,在系统特征尺寸和效应上具有纳米特征的超小型机电一体化的器件与系统。反馈 收藏
综述：基于石墨烯的MEMS和NEMS器件及其应用研究 石墨烯因其原子级厚度、超高的载流子迁移率、优异的机械强度以及压阻式机电换能特性，正逐步成为微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)中理想的换能膜材料。尤其是基于石墨烯的NEMS器件凭借其高灵敏度、微型化尺寸和创新功能特性，近年来备受关注。据麦姆斯咨询报道，近期，...
石墨烯因其原子级厚度、超高的载流子迁移率、优异的机械强度以及压阻式机电换能特性,正逐步成为微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)中理想的换能膜材料。尤其是基于石墨烯的NEMS器件凭借其高灵敏度、微型化尺寸和创新功能特性,近年来备受关注。 据麦姆斯咨询...
石墨烯因其原子级厚度、超高的载流子迁移率、优异的机械强度以及压阻式机电换能特性,正逐步成为微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)中理想的换能膜材料。尤其是基于石墨烯的NEMS器件凭借其高灵敏度、微型化尺寸和创新功能特性,近年来备受关注。 据麦姆斯咨询报道,近期,北京理工大学范绪阁教授、丁洁副教授以及中北大学张...
分析了石墨烯作为MEMS和NEMS功能材料的优势特点、关键特性、换能机制,以及用于MEMS和NEMS的石墨烯制备方法,概述了基于悬浮和非悬浮石墨烯结构的各类器件,并探讨了石墨烯在MEMS和NEMS领域的应用潜力与发展挑战。
新型微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)有机气体传感器因其具有体积小、功耗低、响应速度快、灵敏度高和可大规模集成等优势,成为当前研究的热点。本文旨在探讨新型MEMS和NEMS有机气体传感器的研究现状、发展趋势及其在实际应用中的挑战和前景。 本文将首先介绍MEMS和NEMS传感器的基本原理和分类,分析其在有机气体检测...
石墨烯因其原子级厚度、超高的载流子迁移率、优异的机械强度以及压阻式机电换能特性,正逐步成为微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)中理想的换能膜材料。尤其是基于石墨烯的NEMS器件凭借其高灵敏度、微型化尺寸和创新功能特性,近年来备受关注。 据麦姆斯咨询报道,近期,北京理工大学范绪阁教授、丁洁副教授以及中北大学张...
《CMOS-MEMS/NEMS器件的开发》《CMOS-MEMS/NEMS器件的开发》《Development of CMOS-MEMS/NEMS Devices》一书是由Jaume Verd和Jaume Segura合著的关于CMOS-MEMS/NEMS设备发展的专业著作。书中主要讨论了在集成电路(CMOS)技术和微电子机械系统(MEMS)与纳米电子机械系统(NEMS)领域的设备和技术发展。这本书的主要内容包括...
MEMS/NEMS表面3-D轮廓测量针对的通常都是连续变化的结构表面,符合相邻像素点相位差小于2π的要求,因此依据式(2)所示的原理即可逐点实现相位展开. 1.2 基于模板的相位解包裹 随着相位展开技术的深入发展,相位解包裹算法层出不穷[7-8].如果仅仅应用于简单区域(未展开相位图中不存在非理想数据点)的相位展开,使用普通...