纳机电系统(NEMS)则在尺度上更精细,进入纳米级别。MEMS 常用于汽车工业中的传感器和执行器。NEMS 为生物医学研究提供了高精度的检测工具。MEMS 可实现压力的精确测量。NEMS 能检测到极其微小的物理量变化。MEMS 在消费电子领域有广泛应用,如智能手机中的加速度计。NEMS 有助于开发更高效的药物输送系统。MEMS 使航空...
MEMS为传感器微型化、智能化与网络化的实现提供了技术支持,也为智能传感器应用与产业发展拓展了新的空间。纳机电系统(Aan- Electro-mechanical System,NEMS)是继MEMS之后,在系统特征尺寸和效应上具有纳米特征的超小型机电一体化的器件与系统。反馈 收藏
综述：基于石墨烯的MEMS和NEMS器件及其应用研究 石墨烯因其原子级厚度、超高的载流子迁移率、优异的机械强度以及压阻式机电换能特性，正逐步成为微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)中理想的换能膜材料。尤其是基于石墨烯的NEMS器件凭借其高灵敏度、微型化尺寸和创新功能特性，近年来备受关注。据麦姆斯咨询报道，近期，...
MEMS-NEMSHesketh, Peter
而NEMS和MEMS技术作为其中的两个重要领域,更是在微型或纳米级别的机械设计方面具有极其重要的意义。在本文中,我们将具体探讨NEMS与MEMS技术在材料科学中的应用。 一. NEMS技术的介绍与应用 NEMS技术指的是纳米尺度下的机械器件技术,主要包括纳米机械传感器,扫描探针显微镜以及纳米操作器等。因此,NEMS技术的主要应用是在...
压电MEMS 集成稳压器(IVR)和电磁MEMS 光学MEMS 微电子机械系统基于晶片加工技术,可对高级功能材料进行微加工和结构化。从而能够制造传感器,执行器和能量收集器。这些设备是我们的模拟世界与数字表示之间的接口。 从打印机中高效的墨水传输到汽车安全气囊和智能游戏设备中的加速度计,数据通讯网络中的光学开关以及有助...
石墨烯因其原子级厚度、超高的载流子迁移率、优异的机械强度以及压阻式机电换能特性,正逐步成为微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)中理想的换能膜材料。尤其是基于石墨烯的NEMS器件凭借其高灵敏度、微型化尺寸和创新功能特性,近年来备受关注。 据麦姆斯咨询...
长期以来,人们一直认为MEMS/NEMS开关性能的圣杯是能够对器件进行热切换。这是在RF信号处于活动状态时进行开关的操作,这在历史上一直是MEMS产品中的一个极端限制因素。其他考虑因素包括传统MEMS/NEMS开关解决方案中的线性度、最大频率和隔离限制。另一个主要问题是MEMS射频开关业务的成功和寿命,其持续的业务运营是一个足...
《MEMS/NEMS谐振器技术》共9章,主要内容包括:MEMS/NEMS技术基础和MEMS/NEMS谐振器技术的发展历程与发展趋势;谐振器的工作原理、谐振结构设计理论及分析技术;谐振器件制备涉及的材料、微纳加工工艺及技术;谐振器中存在的丰富非线性现象和复杂动力学行为;微纳尺度下的能量耗散理论、阻尼特性、作用机制及测试方法;谐振器...
“现在已经发展到NEMS的水平,间距可以做到200纳米,也就是0.2个微米,那么深宽比可以达到100:1以上”张裕华说道。另外一个技术趋势则是MEMS传感器的封装进步,2.5D封装开始向3.5D先进封装发展。3.5D封装结合了3D封装和2.5D封装的特性,并在其中引入了混合键合技术。简单来说,3.5D封装就是3D+2.5D的封装方式,再加上混合...