光学MEMS 微电子机械系统基于晶片加工技术,可对高级功能材料进行微加工和结构化。从而能够制造传感器,执行器和能量收集器。这些设备是我们的模拟世界与数字表示之间的接口。 从打印机中高效的墨水传输到汽车安全气囊和智能游戏设备中的加速度计,数据通讯网络中的光学开关以及有助于保持身体健康的生物传感器,我们都依赖于...
MEMS为传感器微型化、智能化与网络化的实现提供了技术支持,也为智能传感器应用与产业发展拓展了新的空间。纳机电系统(Aan- Electro-mechanical System,NEMS)是继MEMS之后,在系统特征尺寸和效应上具有纳米特征的超小型机电一体化的器件与系统。反馈 收藏
综述：基于石墨烯的MEMS和NEMS器件及其应用研究 石墨烯因其原子级厚度、超高的载流子迁移率、优异的机械强度以及压阻式机电换能特性，正逐步成为微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)中理想的换能膜材料。尤其是基于石墨烯的NEMS器件凭借其高灵敏度、微型化尺寸和创新功能特性，近年来备受关注。据麦姆斯咨询报道，近期，...
石墨烯因其原子级厚度、超高的载流子迁移率、优异的机械强度以及压阻式机电换能特性,正逐步成为微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)中理想的换能膜材料。尤其是基于石墨烯的NEMS器件凭借其高灵敏度、微型化尺寸和创新功能特性,近年来备受关注。 据麦姆斯咨询...
用于MEMS和NEMS的石墨烯制备方法 石墨烯薄膜可通过机械剥离、化学气相沉积(CVD)或外延生长等方法制备。石墨烯的转移工艺是连接其制备与应用的关键环节。在MEMS/NEMS器件开发中,通常需要将石墨烯从生长衬底转移至功能性目标衬底。转移后的石墨烯需要进行图案化处理,以满足器件设计要求。值得注意的是,虽然石墨烯本身属于纳...
分析了石墨烯作为MEMS和NEMS功能材料的优势特点、关键特性、换能机制,以及用于MEMS和NEMS的石墨烯制备方法,概述了基于悬浮和非悬浮石墨烯结构的各类器件,并探讨了石墨烯在MEMS和NEMS领域的应用潜力与发展挑战。
长期以来,人们一直认为MEMS/NEMS开关性能的圣杯是能够对器件进行热切换。这是在RF信号处于活动状态时进行开关的操作,这在历史上一直是MEMS产品中的一个极端限制因素。其他考虑因素包括传统MEMS/NEMS开关解决方案中的线性度、最大频率和隔离限制。另一个主要问题是MEMS射频开关业务的成功和寿命,其持续的业务运营是一个足...
一、拓展摩尔定律推动 MEMS/NEMS 技术演进 摩尔定律自英特尔创始人戈登·摩尔 1965 年提出至今已经发展了 52 年,其通过不断减小晶体管尺寸驱动集成电路性能持续提升、成本不断下降,从而带动半导体市场持续繁荣。随着半导体制程逐步走向 14 纳米及以下时,ITRS(国际半导体技术发展路线图)在2013 年预计半导体技术更新将逐渐...
新型微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)有机气体传感器因其具有体积小、功耗低、响应速度快、灵敏度高和可大规模集成等优势,成为当前研究的热点。本文旨在探讨新型MEMS和NEMS有机气体传感器的研究现状、发展趋势及其在实际应用中的挑战和前景。 本文将首先介绍MEMS和NEMS传感器的基本原理和分类,分析其在有机气体检测...