据麦姆斯咨询报道，近期，北京理工大学范绪阁教授、丁洁副教授以及中北大学张文栋教授等研究人员在Microsystems & Nanoengineering期刊上发表了一篇题为“Graphene MEMS and NEMS”的综述文章，分析了石墨烯作为MEMS和NEMS功能材料的优势特点、关键特性、换能机制，以及用于MEMS和NEMS的石墨烯制备方法，概述了基于悬浮和非悬浮...
The development of micro- and nano-mechanical systems (MEMS and NEMS) foreshadows momentous changes not only in the technological world, but in virtually every aspect of human life. The future of the field is bright with opportunities, but also riddled with challenges, ranging from further theore...
02第四章物理量传感器及阵列技术(3)MEMSandNEMS13:02OutlineOutline Definition History WhyMEMS/NEMS ScalingofParameters Applications Fabrication Modeling TypicalMEMS/NEMS13:02 MEMS——MicroElectro-MechanicalSystems NEMS——NanoElectro-MechanicalSystems MEMS/NEMSincludeavarietyofsensors,actuators,andcomplexmicro/...
MEMS and NEMS: Systems, Devices, and Structures is designed to help you meet those challenges and solve fundamental, experimental, and applied problems. Written from a multi-disciplinary perspective, this book forms the basis for the synthesis, modeling, analysis, simulation, control, prototyping, ...
随着技术的发展,科学家又提出了纳机电系统NEMS(Nano-Electro-Mechanical System)的概念。由于二者结构相同,且归属于同一领域,下文中MEMS均代指MEMS/NEMS。 MEMS是最先进的机械技术与最先进的微电子技术的结晶。它是一种结构偏向机械,制造偏向微电子的技术,兼具微型化、低成本、高效能、大批量生产的优点,这也是它最有...
通过厘清金刚石MEMS的能量耗散机制,并探究纳米尺度下NEMS谐振子的尺寸效应和应变工程,可以进一步增强其品质因子,实现超高品质因子、极低能量耗散的SCD NEMS谐振子,用于制备超高灵敏度和超高可靠性的NEMS传感器件。因此,单晶金刚石MEMS/NEMS成为我们团队的研究焦点。
NEMS(Nanoelectromechanical systems, 纳机电系统)与MEMS类似,主要区别在于NEMS尺度/重量更小,谐振频率高,可以达到极高测量精度(小尺寸效应),比MEMS更高的表面体积比可以提高表面传感器的敏感程度,(表面效应),且具有利用量子效应探索新型测量手段的潜力。 首个NEMS器件由IBM在2000年展示, 如图22所示。器件为一个 32X32...
通过厘清金刚石MEMS的能量耗散机制,并探究纳米尺度下NEMS谐振子的尺寸效应和应变工程,可以进一步增强其品质因子,实现超高品质因子、极低能量耗散的SCD NEMS谐振子,用于制备超高灵敏度和超高可靠性的NEMS传感器件。因此,单晶金刚石MEMS/NEMS成为我们...
NEMS(Nanoelectromechanical systems, 纳机电系统)与MEMS类似,主要区别在于NEMS尺度/重量更小,谐振频率高,可以达到极高测量精度(小尺寸效应),比MEMS更高的表面体积比可以提高表面传感器的敏感程度,(表面效应),且具有利用量子效应探索新型测量手段的潜力。 首个NEMS器件由IBM在2000年展示, 如图22所示。器件为一个 32X32...
NEMS(Nanoelectromechanical systems, 纳机电系统)与MEMS类似,主要区别在于NEMS尺度/重量更小,谐振频率高,可以达到极高测量精度(小尺寸效应),比MEMS更高的表面体积比可以提高表面传感器的敏感程度,(表面效应),且具有利用量子效应探索新型测量手段的潜力。 首个NEMS器件由IBM在2000年展示, 如图22所示。器件为一个 32X32...