MEMS vector hydrophonepiezoelectricU-groove针对微机电系统(MEMS)矢量水听器灵敏度低的问题, 该文主要采用有限元频域分析法对一种新型结构的MEMS压电式矢量水听器进行了仿真与结构优化.对于一种新型具有U形槽悬臂梁结构的加速度灵敏度随压电层厚度或频率的变化进行了研究, 优化了结构参数, 提高了灵敏度.结果表明, 当...