结构有什么区别呢 发布日期:20050825浏览次数:1306 camry1:ICP:Inductivelycoulpledplasma RIE:Reactiveionetching Garfield::ICP和RIE相比主要是微波源不同。ICP是用线圈状的微波源盘绕在石英窗口上。 ICP激发的离子浓度比RIE高,因此在同样的腐蚀速度下,单个离子的能量可以较低,这样 刻蚀过程中对样品表面的物理伤害较...
结构有什么区别呢 发布日期:20050825浏览次数:1306 camry1:ICP:Inductivelycoulpledplasma RIE:Reactiveionetching Garfield::ICP和RIE相比主要是微波源不同。ICP是用线圈状的微波源盘绕在石英窗口上。 ICP激发的离子浓度比RIE高,因此在同样的腐蚀速度下,单个离子的能量可以较低,这样 刻蚀过程中对样品表面的物理伤害较...