ICP刻蚀设备,全称为感应耦合等离子体刻蚀机(Inductively Coupled Plasma Etcher)。起源于20世纪初期,到20世纪90年代开始,感性耦合等离子体处理装置开始被发明使用。 ICP刻蚀机的原理 再谈起ICP等离子体原理之前, 先聊一聊电磁感应原理。电磁感应告诉我们,电可以产生磁场,磁也可以生电。ICP就是利用射频电源在线圈中的不...
ICP刻蚀机(InductivelyCoupledPlasmaEtcher)是一种常用的微电子加工设备,用于将材料表面进行刻蚀和制作微细结构。本文将深入分析ICP刻蚀机的组成,包括主要的硬件和控制系统,并介绍其工作原理和应用。 ICP刻蚀机的主要硬件组成 ICP刻蚀机主要由以下几个部分组成: 1.真空系统 真空系统是ICP刻蚀机的核心组件,用于创建真空环...
感应耦合式电浆蚀刻系统(ICP-Etcher)Inductive Couple Plasma Etcher张鼎张教授 张冠张/黄正杰 分机 3708;0921641037 多… ctdr.nsysu.edu.tw|基于12个网页 2. 电浆蚀刻设备 ...贡献营收数千万元,另外,尚有针对台积电推出的高密度电浆蚀刻设备(ICP-etcher)。
刻蚀后的检查：（1）正面颜色是否异常及刮伤；有无缺角及Particle( 颗粒)；测量台阶高度——台阶仪；测量膜厚——膜厚仪‘’；剖面形貌—— SEM/光学轮廓仪。实验中SiO2 和SiNx 等绝缘膜使用的是英国STS（ surface technology system ）公司的AOE（advanced oxide etcher ）型ICP。反应室侧壁装配有永久磁铁， 产...
MAXIS300L_ICP Etcher設備說明 MAXISTM300LLED EtcherSystem overviewSystem featureSystem configurationPSS ProcessGaN ETCH ProcessSystem foot printLED etcher sales recordContentsSystem overviewSystem feature – 1 Transfer Module FFU (HEPA Filter) Process Chamber Module Process Gas Computer S/W TMP Pendulum ...
设备类型 ICP ETCHER 产品名称 二手刻蚀机 产品类型 刻蚀设备 发货地 青岛 可售卖地 全国 品牌 MATTSON 价格说明 价格:商品在爱采购的展示标价,具体的成交价格可能因商品参加活动等情况发生变化,也可能随着购买数量不同或所选规格不同而发生变化,如用户与商家线下达成协议,以线下协议的结算价格为准,如用户在...
型号:SI500CCryogenic ICP plasma etcherWith transfer chamber and vacuum loadlockSubstrate temperature from -150 °C to 400 °C型号:SI500-300ICP plasma etcherWith vacuum loadlockFor 300 mm wafers型号:SI500-RIERIE plasma etcherSmart solution for He backside cooled etchingCapacitive coupled plas...
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热度: 第16125章 69kV電力電纜及相關設備 1. 通則 1.1 本章概要 說明69kV ... 热度: 製藥工廠基本資料SITE MASTER FILE (SMF)製備說明 行政院衛生署 热度: ⓒMaxisCorporation.Allrightsreserved. MAXIS TM 300L LEDEtcher CONFIDENTIAL 2MaxisProprietaryandConfidential ...
Cryogenic ICP plasma etcher With transfer chamber and vacuum loadlock Substrate temperature from -150 °C to 400 °C 型号:SI500-RIE RIE plasma etcher Smart solution for He backside cooled etching Capacitive coupled plasma source, upgradable to ICP plasma source PTSA 200 ...