内容提示: 48第八卷第四期毫微米通訊I-line光學步進機對準符號之設計法則陳世哲、柯富祥國家毫微米元件實驗室驟,而在晶圓系統上則是藉由T V前對準標記圖案 (TV pre-alignment, TV P A) 及T V自動對準標記圖案 (TV AA) 來執行對準步驟。對TV PA的動作,其利用寬帶鹵素燈band halogen lamp,又稱B B或B2) ...
I-lineStepper對準效率與曝光平台的關係 陳俊淇、范瑞雲、柯富祥 國家奈米元件實驗室 一、前言 現行微影製程所使用的曝光機台主要是 由光學投影系統及X-Y曝光平台所構成的, 光學投影系統決定了曝光機台對阻劑層的解 析極限,而X-Y平台則影響機台對準時的相 關參數,進一步影響產品之產能和良率。目 前高數值孔徑...