内容提示: 48第八卷第四期毫微米通訊I-line光學步進機對準符號之設計法則陳世哲、柯富祥國家毫微米元件實驗室驟,而在晶圓系統上則是藉由T V前對準標記圖案 (TV pre-alignment, TV P A) 及T V自動對準標記圖案 (TV AA) 來執行對準步驟。對TV PA的動作,其利用寬帶鹵素燈band halogen