PECVD（Plasma Enhanced Chemical Vaper Deposition）是等离子增强化学气相淀积，该技术是在低气压下，利用低...
PECVD是制备薄膜光伏电池中非晶硅吸收层的关键工艺,而PECVD真空腔体则是PECVD工艺所需重要设备载体之一。当前在下游薄膜光伏电池市场快速发展带动下,PECVD真空腔体行业迎来发展新机遇。 PECVD工艺在异质结(HJT)光伏电池中应用占比较大。HJT电池是光伏电池行业中具有颠覆性技术的新型电池,当前在光伏发电产业快速发展背景下,其...
PECVD同样也是CVD技术，差异在于PE（Plasma Enhancd），中文翻译就是等离子增强气相沉积。与之前提到的抽低...
格隆汇12月6日丨金辰股份(603396.SH)在第三季度业绩说明会上表示，公司 TOPCon 用管式PECVD 制备Pe-Poly、正背膜、退火及镀舟机等设备在光伏电池客户已经验证通过，目前开始形成规模订单。同时量产双面微晶 HJT PECVD设备已经成功交付下游客户，进行中试/量产级别验证。
金辰股份首台HJT PECVD已通过产线验证 金辰股份自主研发的首台HJT PECVD设备自今年六月进驻晋能科技，日前获悉，该台PECVD设备表现优异——已实现电池转换效率与晋能科技产线基本持平，成功通过设备工艺验证。该台PECVD设备于今年八月初完成安装调试后，即在晋能科技产线上开始工艺流片，且获得了首片电池片效率即达22....
管式HJT电池PECVD工艺是一种高效、稳定的非晶硅膜层沉积技术,具有以下特点: 1. 管式结构设计使得气体流动更加均匀,有利于实现均匀的膜层沉积。 2. 高产能,适用于大规模生产。 3. 镀膜厚度均匀,产品转换效率高。 4. 运行稳定,连续批量化生产重复性好。 5. 自动清洗载板及腔室功...
异质结技术推广最大的瓶颈就是设备成本,最突出的是在非晶硅/微晶硅镀膜的CVD段。目前主流的PECVD技术占4亿/GW异质结设备投资成本的50%左右,按近年来降价的节奏、设备构成和成本看,其成本下降空间不大。 而热丝CVD(HotFilament CVD, 以下简称HoFCVD)技术,因为原理不同,设备的构成有了质的变化,成本下降空间能大幅...
您提到的HJT太阳能电池PECVD真空镀膜设备和HJT太阳能电池PVD真空镀膜设备,是太阳能电池生产线中的重要设备。这些设备在光伏产业链的中游电池片生产环节发挥着关键作用,助力高效电池片的制造。我们广东汇成真空科技股份有限公司,虽然核心业务涵盖各类真空镀膜设备,但具体到HJT太阳能电池的相关设备,我们可能不是直接的生产商...
HJT及非晶硅薄膜的微晶硅技术来自于显示器行业; HJT由于是薄膜、低温、大面积制程,对膜厚均匀性和沉积速率综合考量,目前优先采用HF电源方式; 在显示器行业的PECVD中,AKT公司一家独大,AKT的团簇式比链式更适合HJT微晶硅; 受制于测量手段限制,对微晶硅的晶格尺寸和晶化率暂时还难以实现原位检测。以转换效率为评价指标...
BC电池现阶段采用板式PECVD （苏州迈为、上海理想、福建钧石等HJT设备的企业能做）。管式PECVD在BC电池...