公司利用自动化及设备生产技 术积累，布局电池核心生产装备 TOPCon PECVD 及 HJT PECVD 设备，形成光伏组件 及电池“双核心”协同驱动的业务模式。在研究与开发 HJT 和 TOPCon PECVD 设备的 过程中，公司引进瑞士先进技术和团队，并建立了国内真空镀膜研发技术团队，掌握并优 化了真空镀膜的核心技术。产品系列逐渐丰富...
PECVD同样也是CVD技术，差异在于PE（Plasma Enhancd），中文翻译就是等离子增强气相沉积。与之前提到的抽低...
管式HJT电池PECVD工艺的步骤如下: 1. 在制绒清洗后的硅片表面,利用PECVD设备沉积非晶硅膜层。 2. 非晶硅膜层包括本征层(I层)、掺杂层P层和掺杂层N层。 3. 通过精确控制沉积条件和参数,实现高质量的非晶硅膜层沉积。 三、如何选择和使用PECVD设备 在选择和使用PECVD设备时,需...
3)HoFCVD不产生粉尘:PECVD反应粉尘产生的原因是反应气压高,且反应生成的基团带电,这两点导致反应基团易于发生碰撞并团聚,即生成粉尘。由于HWCVD的反应气体压力比PECVD低得多,且反应生成基团不带电,所以无粉尘产生。 4)不用NF3清洗腔体和载板:PECVD每镀一定时间必须用NF3气体清洗腔体和载板。这需要消耗特种NF3气体,而...
PECVD设备主要由真空和压力控制系统、淀积系统、气体及流量控制、系统安全保护系统、计算机控制等部分组成。
金辰股份-HJT曙光已至PECVD打开第二成长曲线-210826(29页).pdf 1、HJT 具备多项优势,未来发展空间较大HJT 是一种 N 型单晶双面电池,具有工艺简单、发电量高、度电成本低的优势。制作工艺上,首先在 N 型单晶硅片(c-Si)的正面沉积很薄的本征非晶硅薄膜(i-aJ3-Si:H)和 p型非晶硅薄膜(p-a-Si:H),然后在...
PECVD是制备薄膜光伏电池中非晶硅吸收层的关键工艺,而PECVD真空腔体则是PECVD工艺所需重要设备载体之一。当前在下游薄膜光伏电池市场快速发展带动下,PECVD真空腔体行业迎来发展新机遇。 PECVD工艺在异质结(HJT)光伏电池中应用占比较大。HJT电池是光伏电池行业中具有颠覆性技术的新型电池,当前在光伏发电产业快速发展背景下,...
证券时报e公司讯，金辰股份自主研发的首台HJT PECVD设备自今年六月进驻晋能科技，日前获悉，该台PECVD设备表现优异——已实现电池转换效率与晋能科技产线基本持平，成功通过设备工艺验证。该台PECVD设备于今年八月初完成安装调试后，即在晋能科技产线上开始工艺流片，且获得了首片电池片效率即达22.8%的成绩。经过三个...
HJT及非晶硅薄膜的微晶硅技术来自于显示器行业; HJT由于是薄膜、低温、大面积制程,对膜厚均匀性和沉积速率综合考量,目前优先采用HF电源方式; 在显示器行业的PECVD中,AKT公司一家独大,AKT的团簇式比链式更适合HJT微晶硅; 受制于测量手段限制,对微晶硅的晶格尺寸和晶化率暂时还难以实现原位检测。以转换效率为评价指标...
HJT2.0异质结电池PECVD量产设备Q320584-002-2021.pdf,ICS J70 备案号: Q/AMW 苏州迈为科技股份有限公司企业标准 Q/320584 AMW 002—2021 公开 2 0 2 1 年 0 6 月 1 5 日 1 6 点 0 5 分 HJT2.0异质结电池PECVD量产设备 公开 2 0 2 1 年 0 6 月 1 5 日 1 6