光伏行业采用大开间即ballroom的洁净室结构,为降低整个暖通成本,也可采用baychase结构,即工艺设备置于万级(ISO7)洁净区域,俗称“灰区”或“维修区”,与硅片接触的“生产区”设置成千级区域。为方便PECVD开腔PM的需要,“灰区”内也可设置可移动式微环境工作罩(minienvironment),配置按需使用的排风装置,从而大大减轻PEC...
HJT电池片生产工艺流程 高效异质结(HJT)光伏电池片生产工艺流程主要包括:初抛、吸杂、硅片制绒清洗、PECVD沉积正反面本征非晶硅膜层和掺杂微晶硅膜层、PVD沉积正反面TCO薄膜、丝网印刷正反面栅线电极及低温固化等工艺流程 (☞☞TOPCon、HJT厂商扎堆无锡!华晟、一道、晶澳、正泰、通威、日升、中来、旭合、日托、天...
TOPCon和PERC产线均为高温工艺，且TOPCon技术最大程度保留和利用了现有传统P型电池设备制程，主要新增的设备包括：多晶硅/非多晶硅沉积的LPCVD/PECVD/PVD 设备、硼扩散设备等，每GW的改造成本约为5000万。以PERC每GW产能的建设成本1.2亿来计算，每GW的TOPCon的投资及改造成本约在1.7亿，新建成本则在2亿左右。根据...
PECVD(非晶硅薄膜沉积):该步骤取代了传统PERC工艺中的扩散工艺,是构造异质结结构的关键,难度、壁垒最高,价值占到全部设备的50%,为异质结设备的核心; TCO(透明导电薄膜)设备-PVD/RPD:技术壁垒低于PECVD,主要包括RPD和PVD两种的技术路径设备,目前主流技术路线是用PVD方式制备前后表面的TCO膜; 丝网印刷机:在硅片的两面...
预计HJT电池设备单GW投资将从22年的3.5亿/GW下降至25年的3亿/GW，我们测算2023-2025年HJT电池整线设备市场空间分别为168/374/740亿元，同比增长为60%/123%/98%，其中非晶硅沉积PECVD核心设备2023-2025年空间分别为84/189/377亿元，同比增长为61%/124%/100%。降银路线对比：0BB+银包铜浆料vs电镀铜工艺 银...
S09正面沉积减反射膜层:以PECVD的方式在基底正面沉积氮化硅、氮氧化硅中的一 种或多种叠层膜。 S10背面激光开膜:利用纳秒级或皮秒级激光对背面减反射层和钝化膜叠层进行开 膜处理 S11丝网印刷正负电极:N区印刷负电极Ag浆,P区印刷...
LPCVD在成膜质量、稳定性，以及在行业内率先推出有优势，而PECVD在沉积速度、掺杂方面有优势；长期来讲，两种路线在产品成本端差异不显著。天合光能提到，LPCVD技术路线比较稳定，但石英耗材消耗较多；PECVD可以解决石英耗材消耗问题，公司对于两种技术路线都进行了储备。爱康科技在发布HJT组件新品时也提到了降本的措施，...
管式HJT电池PECVD工艺是一种高效、稳定的非晶硅膜层沉积技术,具有以下特点: 1. 管式结构设计使得气体流动更加均匀,有利于实现均匀的膜层沉积。 2. 高产能,适用于大规模生产。 3. 镀膜厚度均匀,产品转换效率高。 4. 运行稳定,连续批量化生产重复性好。 5. 自动清洗载板及腔室功...
公司PECVD设备具产能大、成本低特点，HJT用PECVD设备已获晋能产线验证、平均效率达24.38%；首台量产微晶设备成功交付、进行中试/量产级别验证。捷佳伟创是国内稀缺具备PERC/TOPCon/HJT三种工艺设备供应能力的厂商。公司已获量产型HJT整线订单，全线装备持续中标龙头企业，采用了板式PECVD双面微晶工艺。
LPCVD在成膜质量、稳定性，以及在行业内率先推出有优势，而PECVD在沉积速度、掺杂方面有优势；长期来讲，两种路线在产品成本端差异不显著。天合光能提到，LPCVD技术路线比较稳定，但石英耗材消耗较多；PECVD可以解决石英耗材消耗问题，公司对于两种技术路线都进行了储备。爱康科技在发布HJT组件新品时也提到了降本的措施，...