工程上根据k值的不同,把电介质分为高k(high-k)电介质和低k(low-k)电介质两类。介电常数k>3.9时,判定为high-k;而k≤3.9时则为low-k。IBM将low-k标准规定为k≤2.8,目前业界大多以2.8作为low-k电介质的k值上限。 一、High-K电介质材料 随着集成电路的飞速发展,SiO2作为传统的栅介质将不能满足MOSFET,...
High-K和Low-K电介质材料 不同电介质的介电常数k相差很大,真空的k值为1,在所有材料中最低; 空气的k值为1.0006;橡胶的k值为2.5～3.5;纯净水的k值为81。工程上根据 k值的不同,把电介质分为高k(high-k)电介质和低k(low-k)电介质两类。介电常 数k>3.9时,判定为high-k;而k≤3.9时则为low-k。IBM将...
High-K 和 Low-K 电介质材料 不同电介质的介电常数 k 相差很大, 真空的 k 值为 1, 在所有材料中最低;空气的 k 值为 1.0006; 橡胶的 k 值为 2.5～3.5; 纯净水的 k 值为 81。 工程上根据k 值的不同, 把电介质分为高 k(high-k)电介质和低 k(low-k)电介质两类。 介电常数 k >3.9 时, ...
High-K 和 Low-K 电介质材料 不同电介质的介电常数 k 相差很大,真空的 k 值为 1,在所有材料中最低; 空气的 k 值为 1.0006;橡胶的 k 值为 2.5～3.5;纯净水的 k 值为 81。工程上根 据 k 值的不同,把电介质分为高 k(high-k)电介质和低 k(low-k)电介质两类。介电常数 k >3.9 时,判定为...
High-K 和 Low-K 电介质材料不同电介质的介电常数 k 相差很大,真空的 k 值为 1,在所有材料中最低; 空气的 k 值为 1.0006;橡胶的 k 值为 2.5～3.5;纯净水的 k 值为 81。工程上根 据 k 值的不同,把电介质分为高 k(high-k)电介质和低 k(low-k)电介质两类。介电常数 k >3.9 时,判定为 ...
[精品]High-K和Low-K电介质材料.docHigh-K和Low-K电介质材料 不同电介质的介电常数k相斧很大,真空的k值为1,在所有材料中最低; ;〜;纯净水的k值为81。工程上根据 k值的不同,把电介质分为高k(high-k)电介质和低k(low-k)电介质两类。介电常 数k >,判定为high-k;而k<-k。IBM将low-k标准规定...
工程上根据k值的不同,把电介质分为高k(high-k)电介质和低k(low-k)电介质两类。介电常数k>3.9时,判定为high-k;而k≤3.9时则为low-k。IBM将low-k标准规定为k≤2.8,目前业界大多以2.8作为low-k电介质的k值上限。 一、High-K电介质材料 随着集成电路的飞速发展,SiO2作为传统的栅介质将不能满足MOSFET,...
工程上根据k值的不同,把电介质分为高k(high-k)电介质和低k(low-k)电介质两类。介电常数k>3.9时,判定为high-k;而k≤3.9时则为low-k。IBM将low-k标准规定为k≤2.8,目前业界大多以2.8作为low-k电介质的k值上限。 一、High-K电介质材料 随着集成电路的飞速发展,SiO2作为传统的栅介质将不能满足MOSFET,...
工程上根据k值的不同,把电介质分为高k(high-k)电介质和低k(low-k)电介质两类。介电常数k>3.9时,判定为high-k;而k≤3.9时则为low-k。IBM将low-k标准规定为k≤2.8,目前业界大多以2.8作为low-k电介质的k值上限。 一、High-K电介质材料 随着集成电路的飞速发展,SiO2作为传统的栅介质将不能满足MOSFET,...
所谓High-K电介质材料,是一种可取代二氧化硅作为栅介质的材料。它具备良好的绝缘属性,同时可在栅和硅底层通道之间产生较高的场效应(即高-K)。两者都是高性能晶体管的理想属性. High-K电介质材料应满足的要求::(1)高介电常数,≤50 nm CMOS器件要求k >20;(2)与Si有良好的热稳定性;(3)始终是非晶态,以减少...