EDS分析是利用元素的特征X射线,而氢和氦原子只有K层电子,不能产生特征 X 射线,所以无法进行成分分析,锂(Li)和铍(Be)虽然能产生X射线,但产生的特征X射线波长太长,能量小,通常无法进行检测,目前元素分析元素范围一般从硼(Be)-铀(U)。 在这里提醒一下,一般以谱图上出峰来判断是否有该元素,对于某些元素,有时在选中元素后即使没有也会显示含量,如果在谱
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X射线能谱(Energy Dispersive X-ray spectroscopy,EDX)作为元素分析方法之一,常用于材料微区成分元素种类与含量分析,可以分析元素周期表中从硼到铀(B-U)的所有元素信息。一般与扫描电子显微镜和透射电子显微镜配合使用。 2 特征X射线的产生 电子枪发出的高能电子束抨击样品时,入射电子与样品表面的物质相互作用,产生...
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⑤无机物的整体分析:EDX;无机物的薄膜(多膜层)分析:AES、XPS、TOF-SIMS ⑥样品表面损伤:EDX和AES破坏较重,XPS较弱,TOF-SIMS接近无损 五、样品的注意事项 另外简单归纳了几点样品的注意事项,实际的样品要求还需要根据测试方法和设备来考虑。 1、表面分析的样品都要求表面干净,①不能触摸样品表面或对样品表面吹气;...
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