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三分钟了解半导体陶瓷零部件-静电吸盘 静电吸盘,又称静电卡盘(ESC, E—Chuck),是一种利用静电吸附原理加持固定被吸附物的夹具,适用于真空和等离子体环境,主要作用是用于吸附超洁净薄片(如硅片),并使吸附物保持较好的平坦度,可以抑制吸附物在工艺中的变形,并能够调节吸附物的温度。 机械夹持:在早期的硅片加工中,习...
静电卡盘(Electrostatic Chuck,简称E-Chuck)是一种在半导体制造过程中用于固定晶圆的设备,它利用静电吸附原理来夹持晶圆,具有对工件损伤小、精度高的特点。与传统的机械卡盘和真空卡盘相比,静电卡盘减少了机械运动部件,降低了颗粒污染,增大了晶片的有效面积,并且可以在低压强(真空)环境中使用,适用于需要利用卡盘控制晶片...
3D NAND 学习笔记—— ESC 静电卡盘 静电卡盘,简称ESC,E-chuck(Electrostatic Chuck),在半导体设备中价值比较高的部件之一,以刻蚀设备为例,在晶圆加工过程中主要起到为晶圆背面提供支撑,以静电吸附的方式保证其固定,为晶圆提供动态恒定的温度。 引用以下说法原理:ESC 利用电容两带电极板的库伦吸引原理制成。表面涂有...
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静电吸盘是通过静电吸附作用来固定晶圆,其优点在于吸附作用均匀分布于晶圆表面,晶圆不会发生翘曲变形,吸附作用力持续稳定,可控温度,可以保证晶圆的加工精度;静电吸盘对晶圆污染小,对晶圆无伤,可以应用于高…
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根据其工作原理、结构形式、夹紧方式等方面的不同，常见的卡盘可以分为：机械卡盘、真空卡盘、静电卡盘等。其中静电卡盘（简称：ESC或E－Chuck）由于其对工件损伤小、精度高等特点，被广泛运用于半导体制造工艺等需要精密加工的场景。静电卡盘 Ceramic Disk：陶瓷盘面外壳Electrode：电极Heater：加热器Bonding Material：粘合...