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三分钟了解半导体陶瓷零部件-静电吸盘 静电吸盘,又称静电卡盘(ESC, E—Chuck),是一种利用静电吸附原理加持固定被吸附物的夹具,适用于真空和等离子体环境,主要作用是用于吸附超洁净薄片(如硅片),并使吸附物保持较好的平坦度,可以抑制吸附物在工艺中的变形,并能够调节吸附物的温度。 机械夹持:在早期的硅片加工中,习...
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3D NAND 学习笔记—— ESC 静电卡盘 静电卡盘,简称ESC,E-chuck(Electrostatic Chuck),在半导体设备中价值比较高的部件之一,以刻蚀设备为例,在晶圆加工过程中主要起到为晶圆背面提供支撑,以静电吸附的方式保证其固定,为晶圆提供动态恒定的温度。 引用以下说法原理:ESC 利用电容两带电极板的库伦吸引原理制成。表面涂有...
静电卡盘(Electrostatic Chuck,简称E-Chuck)是一种在半导体制造过程中用于固定晶圆的设备,它利用静电吸附原理来夹持晶圆,具有对工件损伤小、精度高的特点。与传统的机械卡盘和真空卡盘相比,静电卡盘减少了机械运动部件,降低了颗粒污染,增大了晶片的有效面积,并且可以在低压强(真空)环境中使用,适用于需要利用卡盘控制晶片...
@基恩士中国有限公司e-chuck静电吸盘 基恩士中国有限公司 e-chuck静电吸盘,又叫静电卡盘,是一种利用静电原理产生吸附力的装置,在半导体工艺中主要用来夹持硅片。它能确保硅片在加工过程中的精度和良品率,是半导体封装过程中的重要部分呢。
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静电卡盘(e-chuck) 品牌 方克斯 瑞沃 更新时间:2024年12月19日 综合排序 人气排序 价格 - 确定 所有地区 实力供应商 已核验企业 在线交易 安心购 查看详情 ￥9999.00/个 江苏无锡 方克斯 晶圆静电卡盘 芯片半导体设备行业用E-CHUCK吸盘 ESC翻新维修 无锡方克斯电子科技有限公司 1年 查看详情 ￥9999.00/套...
静电卡盘(E-CHUCK)是一种适用于真空及等离子体工况环境的超洁净晶圆片承载体,它利用静电吸附原理进行超薄晶圆片的平整均匀夹持,是PVD、ETCH、离子注入等高端装备的核心部件。 西安中威专业生产氧化锆陶瓷精密零件、防静电陶瓷卡盘、氧化铝陶瓷精密零件、氮化硅陶瓷精密零件、氮化铝陶瓷精密零件、碳化硅陶瓷精密零件、可...
根据其工作原理、结构形式、夹紧方式等方面的不同，常见的卡盘可以分为：机械卡盘、真空卡盘、静电卡盘等。其中静电卡盘（简称：ESC或E－Chuck）由于其对工件损伤小、精度高等特点，被广泛运用于半导体制造工艺等需要精密加工的场景。静电卡盘 Ceramic Disk：陶瓷盘面外壳Electrode：电极Heater：加热器Bonding Material：粘合...