总结 echuck静电吸盘利用静电原理实现对工件的吸附和固定。通过施加高压电,使工作表面带有正电荷,从而产生吸附力将工件固定在工作表面上。echuck静电吸盘在半导体、光学、电子等工业领域得到广泛应用,提高了生产效率和产品质量。随着技术的不断发展,echuck静电吸盘在自动化生产线中的应用前景将更加广阔。©...
echuck静电吸盘的工作原理是基于静电力的吸附效应。当电极施加电压时,电极与环境中的空气形成电场,产生一个静电场。静电场会使附近物体表面带上相应的电荷,从而产生静电力。 四、静电力的作用机制 静电力是由电荷间的相互作用引起的,其作用机制可以分为库仑力和范德华力两种。 1. 库仑力:库仑力是由电荷间的静电...
静电吸盘,又称静电卡盘(ESC, E—Chuck),是一种利用静电吸附原理加持固定被吸附物的夹具,适用于真空和等离子体环境,主要作用是用于吸附超洁净薄片(如硅片),并使吸附物保持较好的平坦度,可以抑制吸附物在工艺中的变形,并能够调节吸附物的温度。 机械夹持:在早期的硅片加工中,习惯于采用传统机械行业中机械夹持方法,...
静电卡盘,简称ESC,E-chuck(Electrostatic Chuck),在半导体设备中价值比较高的部件之一,以刻蚀设备为例,在晶圆加工过程中主要起到为晶圆背面提供支撑,以静电吸附的方式保证其固定,为晶圆提供动态恒定的温度。 引用以下说法原理:ESC 利用电容两带电极板的库伦吸引原理制成。表面涂有绝缘层的ESC的主体部分为电容一侧电极,...
百度爱采购为您提供2020年echuck静电吸盘原理专区,包括echuck静电吸盘原理热门商品专区、echuck静电吸盘原理热门供应商专区、echuck静电吸盘原理优质问答专区、echuck静电吸盘原理优质图片专区、echuck静电吸盘原理相关推荐专区等。想要了解更多echuck静电吸盘原理相关内容