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3D NAND 学习笔记—— ESC 静电卡盘 静电卡盘,简称ESC,E-chuck(Electrostatic Chuck),在半导体设备中价值比较高的部件之一,以刻蚀设备为例,在晶圆加工过程中主要起到为晶圆背面提供支撑,以静电吸附的方式保证其固定,为晶圆提供动态恒定的温度。 引用以下说法原理:ESC 利用电容两带电极板的库伦吸引原理制成。表面涂有...
e-chuck静电吸盘,又叫静电卡盘,是一种利用静电原理产生吸附力的装置,在半导体工艺中主要用来夹持硅片。它能确保硅片在加工过程中的精度和良品率,是半导体封装过程中的重要部分呢。
静电卡盘 Ceramic Disk：陶瓷盘面外壳Electrode：电极Heater：加热器Bonding Material：粘合材料Baseplate：底板 静电卡盘 由于静电卡盘使用寿命约为2 年，它既属于零部件又可以被归为耗材。据估算，晶圆厂采购的静电卡盘金额占所有采购零部件产品的9%，与石英件、射频发生器、泵、阀占比相当。晶圆厂零部件采购金额占比 ...
类型 ESC静电卡盘维修保养 价格说明 价格:商品在爱采购的展示标价,具体的成交价格可能因商品参加活动等情况发生变化,也可能随着购买数量不同或所选规格不同而发生变化,如用户与商家线下达成协议,以线下协议的结算价格为准,如用户在爱采购上完成线上购买,则最终以订单结算页价格为准。 抢购价:商品参与营销活动的活...
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静电卡盘(Electrostatic Chuck,简称E-Chuck)是一种在半导体制造过程中用于固定晶圆的设备,它利用静电吸附原理来夹持晶圆,具有对工件损伤小、精度高的特点。与传统的机械卡盘和真空卡盘相比,静电卡盘减少了机械运动部件,降低了颗粒污染,增大了晶片的有效面积,并且可以在低压强(真空)环境中使用,适用于需要利用卡盘控制晶片...
静电卡盘(E-CHUCK)是一种适用于真空及等离子体工况环境的超洁净晶圆片承载体,它利用静电吸附原理进行超薄晶圆片的平整均匀夹持,是PVD、ETCH、离子注入等高端装备的核心部件。 西安中威专业生产氧化锆陶瓷精密零件、防静电陶瓷卡盘、氧化铝陶瓷精密零件、氮化硅陶瓷精密零件、氮化铝陶瓷精密零件、碳化硅陶瓷精密零件、可...
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