免费查询更多e-chuck 静电卡盘详细参数、实时报价、行情走势、优质商品批发/供应信息等,您还可以发布询价信息。
免费查询更多静电卡盘(e-chuck)详细参数、实时报价、行情走势、优质商品批发/供应信息等,您还可以发布询价信息。
6英寸SPTS全陶瓷ESC静电吸盘维修 翻新 E-CHUCK静电卡盘 ￥9999.00 查看详情 方克斯 静电卡盘 芯片半导体设备行业静电吸盘 ESC翻新维修 ￥9999.00 查看详情 液体流量计LFC HORIBA LF-310A-EVD TEB 0.2g/min,0.3g/min,0.5g/min ￥9999.00 查看详情 NISSIN AH2300/3000 IMP12"硅胶 注入ESC静电卡盘翻新维修 E-CHUCK...
静电卡盘(Electrostatic Chuck,简称E-Chuck)是一种在半导体制造过程中用于固定晶圆的设备,它利用静电吸附原理来夹持晶圆,具有对工件损伤小、精度高的特点。与传统的机械卡盘和真空卡盘相比,静电卡盘减少了机械运动部件,降低了颗粒污染,增大了晶片的有效面积,并且可以在低压强(真空)环境中使用,适用于需要利用卡盘控制晶片...
静电卡盘,简称ESC,E-chuck(Electrostatic Chuck),在半导体设备中价值比较高的部件之一,以刻蚀设备为例,在晶圆加工过程中主要起到为晶圆背面提供支撑,以静电吸附的方式保证其固定,为晶圆提供动态恒定的温度。 引用以下说法原理:ESC 利用电容两带电极板的库伦吸引原理制成。表面涂有绝缘层的ESC的主体部分为电容一侧电极,...
静电卡盘 Ceramic Disk：陶瓷盘面外壳Electrode：电极Heater：加热器Bonding Material：粘合材料Baseplate：底板 静电卡盘 由于静电卡盘使用寿命约为2 年，它既属于零部件又可以被归为耗材。据估算，晶圆厂采购的静电卡盘金额占所有采购零部件产品的9%，与石英件、射频发生器、泵、阀占比相当。晶圆厂零部件采购金额占比 ...
首页首页 关于我们关于我们 产品中心产品中心 生产与技术生产与技术 新闻中心新闻中心 联系我们联系我们 0760-89936211 18676772417(微信同号) 首页 关于我们 产品中心 生产与技术 新闻中心 联系我们
威思曼高压电源应用于静电吸盘领域 静电吸盘概念: 静电吸盘又称静电卡盘(英文简称:ESC或E-Chuck)是一种利用静电吸附原理夹持固定被吸附物的夹具,适用于真空及等离子体环境,主要作用是吸附超洁净薄片(如硅片),并使吸附物保持较好的平坦度,可以抑制吸附物在工艺中的变形,还能够调节吸附物的温度...
产品名称:ESC E-CHUCK静电吸盘 牌号:60096 类型:元素半导体材料 材质:陶瓷 用途:晶圆蚀刻 外观:方形,圆形,非标 产地:中国广东 密度:1g/cm3 硬度:1Kg/mm2 ESC 静电吸盘:E-CHUCK 静电卡盘 供应商信息 公司地址深圳市宝安区福永街道立新路金菊花园D栋601(办公场所)统一社会信用代码91440300799214666W ...
静电卡盘(E-CHUCK)是一种适用于真空及等离子体工况环境的超洁净晶圆片承载体,它利用静电吸附原理进行超薄晶圆片的平整均匀夹持,是PVD、ETCH、离子注入等高端装备的核心部件。 西安中威专业生产氧化锆陶瓷精密零件、防静电陶瓷卡盘、氧化铝陶瓷精密零件、氮化硅陶瓷精密零件、氮化铝陶瓷精密零件、碳化硅陶瓷精密零件、可...