DLC薄膜的制备主要依赖化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）两种工艺，各自具有独特的优势。化学气相沉积（CVD）工艺 PECVD（等离子增强化学气相沉积）：在低温下利用等离子体激发反应气体（如CH₄），形成高质量DLC薄膜。适合热敏基材。热丝CVD：通过加热钨丝生成高能自由基，沉积速度快，但对温控要求严格，主要用于...
dlc薄膜 品牌 纳隆 欣隆纳米 鑫嘉 耐磨 更新时间:2024年12月18日 综合排序 人气排序 价格 - 确定 所有地区 已核验企业 在线交易 安心购 查看详情 ￥2.00/件 广东深圳 无油自润滑 铝合金dlc涂层 高硬度 真空镀钛 欣隆pvd薄膜 在线交易 欣隆纳米品牌 东莞市欣隆纳米科技有限公司 3年 查看详情 ￥10.00/件 ...
(1) 需进一步拓宽成膜基底的选择范围，并深入探究不同基底材料对DLC薄膜性能的影响。(2) 应更全面地研究电解液性质、沉积条件等因素对薄膜性质的影响。(3) 需深入剖析成膜机理，并构建具有广泛指导意义的理论模型。(4) 积极推动功能元素的掺杂研究，以促进DLC薄膜在微电子、生物传感器等高新领域的应用。电沉积方法...
液相电沉积类金刚石薄膜的碳源应符合如下条件: (1)具有较高的介电常数;(2)粘滞系数小;(3)分子中的CH3或CHn(4-n)+基团需与极性基团键合。 液相电沉积方法装置示意图 虽然液相电沉积技术在制备类金刚石薄膜及其相关材料方面具有很多优势,目前...
类金刚石薄膜(DLC薄膜)研究取得新进展 PECVD法有望成为其主流制备方法 类金刚石薄膜又称DLC薄膜,指具有类似金刚石性能的非晶态碳薄膜。DLC薄膜含有sp3和sp2杂化的碳原子,具有化学稳定性好、耐磨性好、硬度高、生物相容性好、电绝缘性佳、热稳定性佳、摩擦系数低等优势,适用于生物医学、汽车制造、电子电气、航空航天...
半导体中dlc薄膜应用 半导体中dlc薄膜应用 半导体芯片内部结构复杂精密，加工过程中容易受外部环境干扰。DLC薄膜就像给芯片穿了件隐形防护服，这种材料学名为类金刚石碳膜，由碳原子以类似钻石的结构排列而成，既保持极高硬度又具备良好柔韧性。某国产芯片制造企业曾因封装环节划伤问题导致良品率不足65%，引入DLC涂层后...
DLC薄膜性能、应用及制备方法介绍
DLC薄膜具有优异的电学性能,一般来说,含氢DLC薄膜电阻率比不含氢的DLC薄膜的高,可能是由于氢稳定了薄膜中sp3相的缘故。由于DLC中的sp2相和薄膜的电阻率有直接的关系,因此沉积工艺和离子束的能量都对DLC薄膜层电阻率有着很大的影响。 铝镀DLC涂层 DLC涂层的缺点 ...
DLC是英文 “Diamond Like Carbon”的缩写,译为类金刚石膜。 DLC是一种由碳元素构成,在性质上和钻石类似,同时又具有石墨原子组成结构的物质。 类金刚石膜是一种非晶态薄膜,由于具有高硬度和高弹性模量,低摩擦系数等特性,很适合作为耐磨涂层。 目前制备DLC薄膜方法很多