在Si片和不锈钢片上沉积的 DLC膜结合力好,表面均匀,平整.在Si片上沉积的 DLC膜,生长致密,具有良好的均匀性,表面较光滑平整,仅有微小的突起,表面粗糙度很小,均方根表面粗槌度为1.589 nm(图1).可见,采用直流磁控溅射的方法可沉积出大面积、均匀的、光滑致密的 DLC薄膜. 供应产品目录: 大面积二维的二硫化铼(