DLC薄膜展现出卓越的电学特性。通常，含氢DLC薄膜的电阻率相较于不含氢的DLC薄膜更高，这可能是由于氢元素稳定了薄膜中的sp3相所致。此外，沉积工艺和离子束能量对DLC薄膜的电阻率产生显著影响。DLC薄膜的出色导热性使其成为芯片中铜片散热器的理想绝缘电阻，能有效防止因热膨胀系数不匹配而在常规功率下导致的铜片抓痕。同时，DLC
DLC薄膜制备方法包括液相沉积法、物理气相沉积法以及化学气相沉积法三种。液相沉积法以电化学沉积法为代表,具有绿色环保、参数易控制等优势,但成品质量较差;物理气相沉积法可细分为弧光放电法、非平衡磁控溅射法、脉冲激光沉积法等,其运行成本较高;化学气相沉积法以等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)为代表,具有反应速度...
给DLC薄膜的制备带来了新的思路，现在除了常见的化学气相沉积和物理气相沉积(PVD)， 也可以通过液相的电化学沉积来制备DLC膜。（1）离子束沉积，是指离子源生成的碳离子经质量分析磁场后单一价态的碳离子沉积在衬底上形成类金刚石薄膜，可获得大离子电流、排气能力强,可排除含氢的所有气体;（2）溅射沉积，是指利用...
DLC薄膜性能、应用及制备方法介绍
DLC 薄膜的制备方法 离子束沉积 氩离子流通过离子枪以特定的入射角度轰击靶材时,可以有效地从靶 材中溅射出靶材原子,并沉积到基体表面形成目标薄膜。优点在于其厚度的可 控性和对薄膜质量的保证。但离子枪工艺也存在一些明显的缺点,最为突出的 是离子枪尺寸问题。由于离子枪尺寸较小,处理面积有限,而在大规模工业...
类金刚石（DLC）薄膜，因其卓越的机械、化学及生物相容性，在精密机械、微机电系统、医疗保健等多个领域得到了广泛应用。同时，其色彩绚烂的外观也使其在节能、色彩渐变涂层以及仿生材料等领域展现出巨大的应用潜力。尽管目前对DLC薄膜的着色机理尚缺乏深入理解，但其色彩性能已成为其应用中不可或缺的一部分。若能以...
8)DLC薄膜在室温下光致发光和电致发光率都很高，有可能在整个可见光范围发光，因此可以用作性能极佳的发光材料之一。二、DLC膜的制备技术 自20世纪70年代人们制备出DLC薄膜以来，目前已经开发了许多种沉积方法，但大体上可以分为物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)两大类。PVD方法是在真空下加热或离化蒸发材料(...
1.一种高硬度含氢类金刚石(dlc)薄膜,其特征在于:包括基底、ti过渡层、ti/c梯度过渡层和含氢dlc层,其中,所述ti过渡层在所述基底的表面,通过磁过滤真空电弧技术制备而成;所述ti/c梯度过渡层在所述ti过渡层的表面,通过磁过滤真空电弧技术制备而成;所述含氢dlc层在所述ti/c梯度过渡层的表面,通过激光引弧磁过...
1DLC薄膜概况 1971年德国的Aisenberg采用碳离子束首次制备出了具有金刚石特征 的非晶态碳膜,由于所制备的薄膜具有与金刚石相似的优异性 能,Aisenberg于1973年首次把它称之为类金刚石(DLC)膜⑴。DLC膜有 着和金刚石几乎一样的性质,如高硬度、耐磨损、高表面光洁度、 高电阻率、优良的场发射性能,高透光率及化学惰...