1.我们要知道CD SEM是啥意思吧 和 AMTHK ，CD 就是Critical Dimension临界尺寸，一般用于半导体的检测...
CDSEM是通过电子轰击来进行量测的,如果量测光阻的CD,由于光阻比较软,会受到电子轰击并产生收缩(收缩大小与电子能量,轰击时间及面积有关),造成量测结束后CD变化,导致后续制程的偏移。这个效应在大尺寸时可以忽略的,但是对于28nm制程,大多数时候都不可以忽略。因此我们看到在关键层量测时,黄光之后量测的都是TSK的位...
1.我们要知道CD SEM是啥意思吧 和 AMTHK ，CD 就是Critical Dimension临界尺寸，一般用于半导体的检测...
CDSEM是通过电子轰击来进行量测的,如果量测光阻的CD,由于光阻比较软,会受到电子轰击并产生收缩(收缩大小与电子能量,轰击时间及面积有关),造成量测结束后CD变化,导致后续制程的偏移。这个效应在大尺寸时可以忽略的,但是对于28nm制程,大多数时候都不可以忽略。因此我们看到在关键层量测时,黄光之后量测的都是TSK的位...
(1)CDSEM SEM扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope),业界主要用来量测特征尺寸(Critical Dimension)以及表面形貌成像。其原理是通过入射电子轰击待测样品表面,样品表面原子吸收入射电子并激发产生二次电子(Secondary Electron),通过收集到的二次电子,将探测到的物理信号最终转化成样品图像信息。相较于入射电子,二次...
补充个CDSEM的细节，电子通过磁透镜后照在样品上是一个特定大小的圆斑，比如5万倍下5微米，10万倍2....