它是一种测量微纳米级尺寸的仪器,被广泛应用于半导体、光刻、纳米技术等领域。 CDSEM的原理是利用电子束与物质相互作用的特性,通过对样品表面扫描,探测出电子束与样品反射、散射的电子,再通过电子探测器测量电子信号,进而计算出样品表面的形貌、尺寸以及其他物理量。 CDSEM具有高分辨率、高精度、非接触式测量等优点。
这是由于光刻胶或其他微结构很脆弱,降低CD-SEM电子束的能量可以减少电子束照射对样品的损伤,这样有利于晶圆进行下一步工序。 2.量测精度的差异 CD-SEM注重于高精度和高速度的尺寸测量,通常配备有专门设计的电子枪、透镜和检测器,以实现在高吞吐率和高重复性下获得精确的线宽测量。CD-SEM 的测量重复性约为测量宽...
7.平衡态和非平衡态模拟:cdsem可以模拟材料在平衡态和非平衡态下的结构演化。在平衡态下,材料的结构演化遵循热力学平衡原理;而在非平衡态下,材料的结构演化受到外界条件的强烈影响,如温度、压力等。 8.参数优化与反馈控制:通过模拟不同工艺参数下的材料结构演化,可以分析不同工艺参数对材料性质的影响。通过优化工艺...
量测工程师不仅能够进行高精度的二维量测,还可以根据实际量测需求选择相应的软件和计算机系统来提高量测效率。 DBM技术的应用场景: EPE(Edge Placement Error)量测基本原理 如下图所示,保真度的分析包含对图形的尺寸和形状进行分析,即两者均接近设计图形时,图形保真度好。在DBM中,由CDSEM获取SEM图像的边缘(Edge)每一...
SEM是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器。顾名思义就是在微观的视野下测试做出电路的线的关键...
cd-sem工作原理? 扫描电子显微镜是1965年发明的较现代的细胞生物学研究工具,主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态,即用极狭窄的电子束去扫描样品,通过电子束与样品的相互作用产生各种效应,其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面放大的形
(1)CDSEM SEM扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope),业界主要用来量测特征尺寸(Critical Dimension)以及表面形貌成像。其原理是通过入射电子轰击待测样品表面,样品表面原子吸收入射电子并激发产生二次电子(Secondary Electron),通过收集到的二次电子,将探测到的物理信号最终转化成样品图像信息。相较于入射电子,二次...
SEM的工作原理SEM的主要特点SEM的应用实例 SEM工作原理 扫描电子显微镜的简称为扫描电镜，英文缩写为SEM(ScanningElectronMicroscope)。SEM与电子探针（EPMA）的功能和结构基本相同，但SEM一般不带波谱仪（WDS）。它是用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口...
同时,人工智能技术也将被广泛应用于CDSEM数据处理和分析,实现自动化、精准化的测量结果输出。展望未来:中国特征尺寸测量用扫描电子显微镜(CDSEM)行业发展前景广阔,市场规模将持续增长,不同细分市场的竞争格局也将更加激烈。2.中国特征尺寸测量用扫描电子显微镜的技术水平主要技术路线及发展现状此外,增强功能成像技术也将...