佳能新推出的FPA-3030EX6 KrF光刻机,支持模拟芯片制造,应用于物联网和Power Device的传感器和通信设备。FPA-3030EX6继承上
FPA-3030EX6 DUV (KrF, 248 nm) Steppers provide cost-efficient high-resolution imaging on ≤ 200 mm substrates for sensor, power and IoT applications. SPECIFICATIONS Technology Resolution Throughput Single Machine Overlay Numerical Aperture Lens Reduction Ratio Exposure Field Substrate Size Options...
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