1.Canon FPA5000 ES3扫描式光刻机 光源波长248nm 分辨率优于0.18µm 主要用于6寸、8寸及12寸生产线 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域 2.产品详情 主要技术指标 分辨率0.18µm N.A.0.6-0.73 曝光光源248nm 倍率4:1 曝光现场26mm*33mm 对准精度35nm 3.更多服务 提供中英文软件及6"、 8"、...
1.Canon FPA5000 ES3扫描式光刻机 光源波长248nm 分辨率优于0.18µm 主要用于6寸、8寸及12寸生产线 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域 2.产品详情 主要技术指标 分辨率0.18µm N.A.0.6-0.73 曝光光源248nm 倍率4:1 最大曝光现场26mm*33mm ...
Canon FPA5000 ES3扫描式光刻机,主要用于6寸、8寸及12寸生产线,广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等域。 详情介绍 1.产品概述 Canon FPA5000 ES3扫描式光刻机,主要用于6寸、8寸及12寸生产线,广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等域。 2.设备特点 ...
equals 0.32 half-pitch dense and isolated C/H patterns, but also different pitches using Canon FPA- 5000ES3, which is impossible by conventional methods... K Yamazoe,M Hasegawa,K Saitoh,... - Photomask & Next Generation Lithography Mask Technology IX 被引量: 4发表: 2002年 色彩...
Canon FPA5000 ES3扫描式光刻机供应商: 研启科学仪器(东莞)有限公司 联系人: 余纯博 电话: 18772609610 传真: 地址: 广东深圳市详细信息Canon FPA5000 ES3 1.Canon FPA5000 ES3扫描式光刻机 光源波长248nm 分辨率优于0.18µm 主要用于6寸、8寸及12寸生产线 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域 2...
Canon FPA5000 ES3 1.Canon FPA5000 ES3扫描式光刻机 光源波长248nm 分辨率优于0.18µm 主要用于6寸、8寸及12寸生产线 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域 2.产品详情 主要技术指标 分辨率0.18µm N.A.0.6-0.73 曝光光源248nm 倍率4:1 曝光现场26mm*33mm 对准精度35nm 3.更多服务 提供中英...
Canon FPA5000 ES4扫描式光刻机,光源波长248nm,分辨率优于0.13µm,用于6寸、8寸及12寸生产线,广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等域。 详情介绍 1.产品概述 Canon FPA5000 ES4扫描式光刻机,光源波长248nm,分辨率优于0.13µm,用于6寸、8寸及12寸生产线,广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等域。