1.Canon FPA5000 ES3扫描式光刻机 光源波长248nm 分辨率优于0.18µm 主要用于6寸、8寸及12寸生产线 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域 2.产品详情 主要技术指标 分辨率0.18µm N.A.0.6-0.73 曝光光源248nm 倍率4:1 曝光现场26mm*33mm 对准精度35nm 3.更多服务 提供中英文软件及6"、 8"、...
Canon FPA5000 ES3扫描式光刻机,主要用于6寸、8寸及12寸生产线,广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等域。 详情介绍 1.产品概述 Canon FPA5000 ES3扫描式光刻机,主要用于6寸、8寸及12寸生产线,广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等域。 2.设备特点 ...
CANON FPA-3000 i5 Stepper CANON FPA-3000 i5+ Stepper CANON FPA-3000 i5++ Stepper CANON FPA-3000 iW Stepper CANON FPA-3000 MR Stepper CANON FPA-5000 ES3 DUV Scanner CANON FPA5000 ES2 DUV Scanner CANON Spare Parts 0 In Stock tell a friend ...
Canon FPA5000 ES3 1.Canon FPA5000 ES3扫描式光刻机 光源波长248nm 分辨率优于0.18µm 主要用于6寸、8寸及12寸生产线 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域 2.产品详情 主要技术指标 分辨率0.18µm N.A.0.6-0.73 曝光光源248nm 倍率4:1 曝光现场26mm*33mm 对准精度35nm 3.更多服务 提供中英...
Canon FPA5000 ES4扫描式光刻机,光源波长248nm,分辨率优于0.13µm,用于6寸、8寸及12寸生产线,广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等域。 详情介绍 1.产品概述 Canon FPA5000 ES4扫描式光刻机,光源波长248nm,分辨率优于0.13µm,用于6寸、8寸及12寸生产线,广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等域。
CanonFPA3000EX4 是一款高性能的步进式光刻机,专为半导体制造业设计,适用于生产高精度的集成电路。该设备以其良好的成像能力和高生产效率而闻名。 二、设备用途/原理: Canon FPA3000 EX4步进式光刻机主要用于半导体制造、微机电系统和光电器件的生产。其工作原理包括使用高强度光源照射涂有光刻胶的硅晶圆,通过光学系...