5.2栅致源极泄漏及栅致漏极泄漏110 5.2.1BSIM-CMG中的栅致漏极泄漏/栅致源极泄漏公式112 5.3栅极氧化层隧穿113 5.3.1BSIM-CMG中的栅极氧化层隧穿公式113 5.3.2在耗尽区和反型区中的栅极-体隧穿电流114 5.3.3积累中的栅极-体隧穿电流115 5.3.4反型中的栅极-沟道隧穿电流117 ...