ASTM F1982-99e1 引用标准 ASTM D6196 适用范围 1.1 这些测试方法涵盖使用与质谱仪 (GC-MS) 或磷选择性检测器或两者连接的气相色谱仪对硅晶片表面上的有机污染物进行识别和定量。 1.2 这些测试方法描述了通过热解吸气相色谱(TD-GC)2,3 进行样品制备和分析的设备和相关程序。
1999年ASTM F1982-99e1热解吸气相色谱法测定硅晶圆表面有机污染物 1.1 这些测试方法涵盖使用与质谱仪 (GC-MS) 或磷选择性检测器或两者连接的气相色谱仪对硅晶片表面上的有机污染物进行识别和定量。 1.2 这些测试方法描述了通过热解吸气相色谱(TD-GC)2,3 进行样品制备和分析的设备和相关程序。 1.3 这些测试方法...
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