众所周知，目前全球仅ASML一家能够生产EUV光刻机。目前ASML对外出货的光刻机，其实均是数值孔径NA=0.33的光刻机，这种称之为低数值孔径的光刻机，一般用于3nm-7nm芯片的光刻。而当芯片进入到3nm之下，也就是2nm、1.4nm、1nm芯片时，需要用到高数值孔径的光刻机，也就是NA=0.55的光刻机，型号应该是EXE：...
首先是售价高达3.5亿欧元(约合27亿元人民币)。同时其大小约等于一辆双层巴士,重量高达150吨,也就是150000KG。 而这样的光刻机,是无法安装完全后,再运输的,运输时以会拆开,以组件的方式运送到客户单位,然后再组装。 运送的时候,需要用到250个货箱,而安装的时候,需要用到250名工程师,然后需要6个月的时间,才能全...
运输安装之难：250人动员，180天完成 由于光刻机的巨大尺寸和重量，无法一次性运输和安装。据ASML透露，他们用了250个货柜来运送光刻机的各个部件，同时动员了250名工程师共同参与安装调试的工作。整个过程长达6个月，可见其艰巨和繁复程度。然而，正是这样的艰辛付出，才能实现将这“硬汉”级别的光刻机稳妥运抵目的...
虽然ASML的EXE:5200代表着光刻分辨率的新的里程碑，但也要清醒地认识到，EUV光刻技术的提升空间已经十分有限。要提高光刻分辨率，主要有三种途径：降低曝光波长、增加数值孔径、提高光刻工艺的复杂度。目前EUV的波长已接近极限，0.55数值孔径也接近光学系统的极限，复杂的多重曝光工艺也存在成本和良品率问题。在现有技术...
不久前，ASML终于向英特尔交付了全球首台NA=0.55的EUV光刻机EXE: 5200。这台光刻机的售价高达3.5亿欧元（约合27亿元人民币），重量达到150吨，体积相当于一辆双层巴士。由于体积庞大，光刻机在运输过程中需要拆解成250个组件，运送到客户单位后再进行组装。安装过程需要250名工程师，耗时6个月。虽然ASML已经交付...