ASML最新EUV光刻机：27亿元，150吨重，250人要安装180天 众所周知，目前全球仅ASML一家能够生产EUV光刻机。目前ASML对外出货的光刻机，其实均是数值孔径NA=0.33的光刻机，这种称之为低数值孔径的光刻机，一般用于3nm-7nm芯片的光刻。而当芯片进入到3nm之下，也就是2nm、1.4nm、1nm芯片时，需要用到高数值...
之前ASML的总裁称,当数值孔径达到0.55之后,暂时可能就会告一段落了,甚至是最后一代EUV光刻机都有可能,ASML表示在现有技术条件之下,他们无法再提升数值孔径了。 目前EUV光刻机提升分辨率,有三个方向,一是降低光源波长,但13.5nm的极紫外线已经是极限,无法再降低了。二是提升数值孔径,但这一步也卡住了,ASML表示无法提...
在ASML的EUV光刻技术接近物理极限的情况下，寻求新的突破是必然趋势。未来，更先进的技术如NIL可能会逐渐接替光刻技术的重任，引领制程不断突破更小的维度。在这个EUV科技走向终结的时刻，我们不能止步于当前的成就，而应主动投入到新技术的研发和产业化进程中。这将是整个半导体产业跨越技术鸿沟，持续取得进步的关键。
运输安装之难：250人动员，180天完成 由于光刻机的巨大尺寸和重量，无法一次性运输和安装。据ASML透露，他们用了250个货柜来运送光刻机的各个部件，同时动员了250名工程师共同参与安装调试的工作。整个过程长达6个月，可见其艰巨和繁复程度。然而，正是这样的艰辛付出，才能实现将这“硬汉”级别的光刻机稳妥运抵目的...