APCVD的原理是利用气相反应在基底表面生成所需薄膜材料。首先,通过热源加热反应室,并将反应室中的压力维持在大气压力。然后,将反应室中的反应气体引入,使其与基底表面进行反应。反应气体中的化学物质会在基底表面生成固态薄膜。 在APCVD过程中,反应气体的选择至关重要。不同的反应气体可以用于制备不同的薄膜材料。例如...
CVD（LPCVD\APCVD\PECVD）工艺原理及图解，简单明了。
[考研] 085600材料与化工调剂 +6 让我上个岸 2025-03-12 7/350 2025-03-18 19:51 by interatomic [考研] 中国地质大学(武汉)Jacopo Dal Corso教授接收调剂研究生 +7 tastulek 2025-03-15 10/500 2025-03-18 18:41 by tastulek [论文投稿] 两篇文章再投,希望有好运 +3 cqupenghao 2025-03-15...
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