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发货地 安徽合肥 商品类型 机械设备 、 输送设备 、 吸盘 商品关键词 静电吸附盘、 安徽静电吸附盘、 合肥静电吸附盘、 静电吸附盘厂家、 静电吸附盘批发 商品图片 商品参数 品牌: 海拓创新 行业口碑: 良好 优惠: 厂家直销 规格: 齐全 维护: 易于清洁和维护 材料: 导电/半导电材料 安全性: ...
静电吸附盘esc 更新时间:2024年08月18日 综合排序 人气排序 价格 - 确定 所有地区 已核验企业 查看详情 面议 北京 静电吸附电源ESC-5 北京杰创宏达电子有限公司 3年 查看详情 ￥8000.00/台 广东东莞 晶圆搬运吸附手持静电吸盘蚀刻离子注入氧化铝ESC E-CHUCK 瑞沃品牌 东莞瑞沃半导体设备有限公司 4年 查看...
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吸附盘通常是一个具有特殊表面涂层的金属盘,或者是由电极和电介质材料构成的。 当静电发生器开始工作时,产生的静电场会形成在吸附盘表面上。晶圆被吸附盘上的静电场所吸引,并被固定在吸附盘表面上。在这个过程中,吸附盘上的静电场会影响到晶圆表面的电荷分布。如果吸附盘上的静电场分布不均,晶圆表面的电荷分布也会...
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. 静电吸附盘 静电吸附盘(ESC)是对内置金属电极外施压力,被吸附物和静电吸盘的表面产生正负电荷,通过正负电荷产生的静电力固定被吸附物。 溶射型 1.相对一体烧结ESC有价格优势。 2.因溶射膜和基材的热膨胀系数不同,不适合在高温下使用 3.基材可修复
静电吸盘(ESC)又称静电卡盘,指利用静电吸附原理,对晶圆进行固定的吸盘,具有可调控吸附物温度、抑制变形等作用。在行业发展初期,受技术壁垒高等因素限制,我国静电吸盘高度依赖进口。近年来,在国家政策推动下,我国静电吸盘市场国产化进程有所加快,未来其行业发展前景将持续向好。
一种静电吸附盘,其关键在于:包括吸附盘本体,在所述吸附盘本体的中心开设有至少两个矩形槽,在该矩形槽其中两条相对的侧边上分别开设有多个第一凹槽与第二凹槽,所述第一凹槽与第二凹槽沿所述矩形槽的长度方向设置,且相对设置的第一凹槽与第二凹槽之间形成用于放置印刷电路板的插槽,在所述吸附盘本体的左右两侧边还...