静电吸附盘ESC 海拓创新 强磁力吸附表盘 品质优良 价格 ¥ 150000.00 起订数 1件起批 发货地 安徽合肥 商品类型 机械设备 、 输送设备 、 吸盘 商品关键词 静电吸附盘、 安徽静电吸附盘、 合肥静电吸附盘、 静电吸附盘厂家、 静电吸附盘批发 ...
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静电吸盘(ESC)又称静电卡盘,指利用静电吸附原理,对晶圆进行固定的吸盘,具有可调控吸附物温度、抑制变形等作用。在行业发展初期,受技术壁垒高等因素限制,我国静电吸盘高度依赖进口。近年来,在国家政策推动下,我国静电吸盘市场国产化进程有所加快,未来其行业发展前景将持续向好。 乙丙橡胶(EPDM)、氧化铝、氧化硅、氮化铝...
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6.步骤一:将esc静电吸附盘背面的电极孔及氦气孔用耐酸碱胶带进行保护,再对整体背面和侧面用耐酸碱胶带进行保护; 7.步骤二:将保护好的esc静电吸附盘浸没在55 °‑ 65 ° 纯水中一段时间,在浸没期间内对纯水进行鼓泡搅拌; 8.步骤三:配置混合溶液a; ...