金属氧化物半导体气体传感器的基本原理是基于气体分子与金属氧化物表面的相互作用,通过监测电导率的变化来实现对气体浓度的检测。这种传感器因其灵敏度高、响应速度快、成本低等优点,在环境监测、工业安全、医疗诊断等领域具有广泛的应用前景。 3. 气体传感器改性的方法与技术 材料表面修饰是提高MOS气体传感器性能的一种重...
一种具有氢气敏感效应的二硫化钼/硅异质薄膜器件及其制备方法和应用 本发明公开一种具有氢气敏感效应的二硫化钼/硅异质薄膜器件及其制备方法和应用,该二硫化钼/硅异质薄膜器件包括Si衬底与MoS薄膜层,MoS薄膜层是利用直流磁控溅射技术沉积在Si衬底表面.本发明通过在Si衬底表面沉积MoS薄膜,利用MoS薄膜对H的吸附作用和半导体异...
此外,本文还分别讨论了不同气体分子(氢气、硫化氢、甲烷、VOC)的扩散与反应速率等参数,并针对性地阐述了气敏材料的合成方法。 总之,本文对于化学电阻型气体传感过程中气体分子在 MOS气敏层的动态过程,包括吸附、脱附和扩散,进行了深入浅出的阐述,指出这些气-固界面过程对于气体传感器性能的影响机制,并阐述了介孔金属...
此外,本文还分别讨论了不同气体分子(氢气、硫化氢、甲烷、VOC)的扩散与反应速率等参数,并针对性地阐述了气敏材料的合成方法。 总之,本文对于化学电阻型气体传感过程中气体分子在 MOS气敏层的动态过程,包括吸附、脱附和扩散,进行了深入浅出的阐述,指出这些气-固界面过程对于气体传感器性能的影响机制,并阐述了介孔金属...