极性表面形貌腐蚀悬挂键密度螺位错各向异性化学气相沉积技术原子力显微镜采用金属有机物化学气相淀积技术在r面蓝宝石衬底上制备了a面GaN薄膜,用熔融的KOH在400 ℃对样品分别腐蚀1.0,1.5和2.0 min.用扫描电镜,原子力显微镜,X射线衍射谱和阴极射线荧光对腐蚀前后的表面形貌进行分析.研究表明,400 ℃下腐蚀1.5 min后出现...
碳化硅纤维有两种制备路线,一种是先驱体转换法,另一种是化学气相沉积法。先驱体转换法是由日本东北大学矢岛圣使教授发明,日本碳公司于1983年完成批量生产开发,并以NICALON作为产品名称。1984年日本宇部兴产公司以低分子硅烷化合物与钛化合物合成有机金属聚合物,采用特殊纺丝技术,制成性能更好的碳化硅纤维,称为TYRANNO...