1955年,西门子公司成功开发了利用氢气还原三氯硅烷SiHCl3在硅芯发热体(多晶硅的载体)上沉积硅的工艺技术,并于1957年开始了工业规模化生产,即西门子法。在西门子法工艺的基础上,通过增加还原尾气干法回收系统、SiCl4氢化工艺,实现了闭路循环,于是形成了“改良西门子法——闭环式SiHCl3氢还原法,涉及的主要反应如下: 图1...
1.多晶硅的生产工艺:从西门子法到改良西门子法 从西门子法到改良西门子法的演进是一个从开环到闭环的过程。 1955年,德国西门子开发出以氢气(H2)还原高纯度三氯氢硅(SiHCl3),在加热到1100℃左右的硅芯(也称“硅棒”)上沉积多晶硅的生产工艺;1957年,这种多晶硅生产工艺开始应用于工业化生产,被外界称为“西门子法”。
下面是改良西门子法生产多晶硅的工艺流程。通电饱和食盐水点燃焦炭制粗硅粉碎合成SiHCl3提纯SiHC还原多晶硅石英(1)用惰性电极电解饱和食盐水,写出常温下X与Z反应的化学方程式(2)制取粗硅时可以得到一种气体,其化学式为(3)在“合成SiHCls”的过程中,还会生成副产物SiCl。①已知两物质的沸点分别为57.6℃和31.8℃,则提...
[题目]下面是改良西门子法生产多晶硅的工艺流程.(1)用惰性电极电解饱和食盐水.写出常温下X与Z反应的化学方程式 .(2)在合成SiHCl3的过程中.还会有生成副产物SiCl4.已知两物质的沸点分别为57.6℃和31.8℃.则提纯SiHCl3的方法是 .(3)SiHCl3提纯后用H2还原:SiHCl3 Si.不同温度
(9分)下面是改良西门子法生产多晶硅的工艺流程。(1)用惰性电极电解饱和食盐水,写出常温下X与Z反应的化学方程式 .(2)在合成SiHCl3的过程中,
在还原炉中完成多晶硅棒的制备后，需将其从炉内取出，并进行后续处理。由于硅棒无法直接销售，因此需要经过切断和破碎，将其加工成块状多晶硅。成本分析 根据百川盈孚的数据显示，2022年6月上旬，国内采用改良西门子法生产多晶硅的成本构成中，原材料成本占据最大比例，高达41%。其中，工业硅作为关键原材料，其成本占总...
cm碳含量ppma重金属杂质含量ppba多晶硅直径mm单炉产量kg炉国内1218约3004550300300060120200800国外11514051212146070203010006000100000515020030006000改良西门子法制取多晶硅工艺简述一硅的用途1作电力整流器和可控硅整流器用于电气铁道机床电解食盐有色金属电解各种机床的控制部分用于代替直流发电机组水银整流器等设备 西门子法生产多晶硅...
5.下面是改良西门子法生产多晶硅的工艺流程. (1)用惰性电极电解饱和食盐水,写出常温下X与Z反应的化学方程式Cl2+2NaOH=NaCl+NaClO+H2O. (2)在合成SiHCl3的过程中,还会有生成副产物SiCl4.已知两物质的沸点分别为57.6℃和31.8℃,则提纯SiHCl3的方法是蒸馏. ...
三氯氢硅还原法，又称西门子法 是由西门子公司率先研究并成功应用于多晶硅生产的方法。其起始原料为冶金级硅，通过与氯化氢（HCl）在特定条件下进行催化合成反应，生成三氯氢硅，这一步骤被称为氯化粗硅。三氯氢硅，亦被称为三氯硅烷或硅氯仿，不仅是化工工业中制取有机硅材料的关键中间体，还是半导体工业中生产...
5.下面是改良西门子法生产多晶硅的工艺流程.(1)用惰性电极电解饱和食盐水,写出常温下X与Z反应的化学方程式Cl 2 +2NaOH=NaCl+NaClO+H 2 O.(2)在合成SiHCl 3 的过程中,还会有生成副产物SiCl 4 .已知两物质的沸点分别为57.6℃和31.8℃,则提纯SiHCl 3 的方法是蒸馏.(3)SiHCl 3 提纯后用H 2 还原:SiHCl 3...