总的来说 ,目前国际上多晶硅生产主 要的传统工艺有 : 改良西门子法 、硅烷法和流化床 法 。其中改良西门子工艺生产的多晶硅的产能最 大 ,约占全世界总产能的 80%。 2. 1 改良西门子法 —闭环式三氯氢硅氢还原法 1955年 ,西门子公司成功开发了利用氢气还原 三氯硅烷 ( SiHCl3 )在硅芯发热体上沉积硅的...
摘要: 改良西门子法生产多晶硅是目前最为成熟、应用最广泛、扩展速度最快的技术.介绍了生产多晶硅的多种生产方法,重点对改良西门子法生产多晶硅的工艺流程作了介绍,并阐述了工程设计中需注意的问题. 暂无资源 收藏 引用 分享 推荐文章 多晶硅生产技术发展方向探讨 多晶硅 改良西门子法 高频电源技术 硅烷法 气液...