改良西门子法多晶硅生产工艺关键设备.docx,改良西门子法多晶硅生产工艺关键设备郭 丹,王恩俊,武锦涛,王泽武,银建中(大连理工大学 化工机械学院, 辽宁 大连 116024)摘要:随着人们对太阳能资源的开发和深入研究,作为其原材料供给的多晶硅行业也得到迅猛发展 改良西门
本发明公开了一种改良西门子法多晶硅生产设备电源电路,包括若干台还原炉,N台启动电源组成的电源系统以及K台备用启动电源,其中,所述N台启动电源及所述K台备用启动电源同时与三相输电电路连接;所述电源系统的输出端与所述若干台还原炉连接,所述K台备用启动电源中的每一台分别通过相位选择器与电源系统的输出端连接,当...
本发明公开了基于改良西门子法的多晶硅生产方法及多晶硅生产设备,属于多晶硅生产技术领域,解决了参与还原反应三氯氢硅的纯度低,影响三氯氢硅的一次转化率并导致多晶硅的生产成本高的问题.本发明的主要技术方案为:一种基于改良西门子法的多晶硅生产方法,包括:步骤1,三氯氢硅还原沉积得到多晶硅,排出尾气;步骤2,尾气经多级...
本发明一种废气淋洗处理工艺及装置,特别涉及采用改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗处理工艺及装置,用以处理多种氯硅烷或氯化氢有害气体. The present invention is an exhaust gas treatment process and apparatus for rinsing, and in particular leaching treatment process and apparatus for the production of ...
太阳能级多晶硅改良西门子法生产设备节能高效随着人们对太阳能资源的开发和深入研究,作为其原材料供给的多晶硅行业也得到迅猛发展。在对多晶硅生产工艺改进的同时,其生产设备也得到相应的改进和更新。就改良西门子法多晶硅生产过程中的不同工序和不同工艺的主要生产设备进行探讨,比较其优缺点,并介绍相应的改进方法以获得更优...
本发明公开了基于改良西门子法的多晶硅生产方法及多晶硅生产设备,属于多晶硅生产技术领域,解决了参与还原反应三氯氢硅的纯度低,影响三氯氢硅的一次转化率并导致多晶硅的生产成本高的问题。本发明的主要技术方案为:一种基于改良西门子法的多晶硅生产方法,包括:步骤1,三氯氢硅还原沉积得到多晶硅,排出尾气;步骤2,尾气经多级...
本发明一种废气淋洗处理工艺及装置,特别涉及采用改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗处理工艺及装置,用以处理多种氯硅烷或氯化氢有害气体.属生产多晶硅产生的废弃物处理领域.该发明是在实验的基础上对多晶硅生产所产生废弃物进行的淋洗处理,通过控制淋洗所产生的废渣形态,利用专门的处理装置,设计出了处理能力大,残渣分离...
本发明公开了一种改良西门子法多晶硅生产设备电源电路,包括若干台还原炉,N台启动电源组成的电源系统以及K台备用启动电源,其中,所述N台启动电源及所述K台备用启动电源同时与三相输电电路连接;所述电源系统的输出端与所述若干台还原炉连接,所述K台备用启动电源中的每一台分别通过相位选择器与电源系统的输出端连接,当...
一方面，《基于改良西门子法的多晶硅生产方法及多晶硅生产设备》实施例提供了一种基于改良西门子法的多晶硅生产方法，包括以下步骤：步骤1，三氯氢硅在H₂气氛的还原炉中还原沉积得到多晶硅，还原炉排出尾气；步骤2，步骤1的尾气经多级冷凝得到不凝气和冷凝液，不凝气进入吸收塔，吸收塔吸收不凝气中的HCL并流出氯硅烷...