溅射靶材 镀膜金属颗粒 合金熔炼材料工程师 蒂姆北京新材料20 人赞同了该文章 下表是几种镀膜方式与薄膜性质的比较:表1 从上表可以看出蒸镀薄膜的密度最差,只能达到理论密度的95%,镀膜的附着力也最差,但是蒸镀的镀膜速率最快。离子镀不但密度最高、晶粒最小,而且镀膜与基板的附着力也是三种镀膜中最大的,只是离...