溅射比蒸镀和工作真空低一个数量级,所以膜层的含气量要比蒸镀高。 蒸镀不适用于高溶点材料,如钼,钨。因为溶点高,蒸发太慢,而溅射的速度比蒸镀快很多。 溅射不适用于低硬度材料,如非金属材料… 蒂姆新材料 离子镀膜技术 靖霸霸啦啦啦 蒸发和磁控溅射镀膜的性能分析 随着科学技术的不断发展,半导体器件的种类不...
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