聚焦离子束扫描电子显微镜(Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope,简称FIB-SEM)双束系统是指同时具备聚焦离子束(FIB)和扫描电子显微镜(SEM)功能的系统。通过与相应气体沉积装置和纳米操纵仪以及各类探测器和可控样品台及其他配件相结合,使其成为集微区成像,处理和分析于一体、操纵为一体的分析仪器在物理,...
在常见的双束FIB-SEM系统中:电子束垂直于样品台,离子束与样品台呈一定的夹角,工作的过程中需要把样品台旋转至52度位置,此时离子束与样品台处于垂直状态,便于进行加工,而电子束与样品台呈一定的角度,可以观测到截面内部的结构。 图1. FIB-SEM双束系统的结构示意图 离子镜筒结构示意图见附图。液态镓(Ga)离子源使...
Hello,蔡司Crossbeam 350 聚焦离子束-扫描电子显微镜(FIB-SEM)。 首先,先来简单介绍下设备——聚焦离子束-场发射扫描电子显微镜(FIB-SEM)。 图1 聚焦双束场发射扫描电子显微镜(含能谱仪) 厂家:Zeiss 型号:Crossbeam 350 主要参数: 样品台类型:6轴电动超共心,通过SmartSEM用户界面进行控制,使用双操纵杆控制箱进行...
DualBeam仪器系列包括多款FIB-SEM聚焦离子束扫描电子显微镜(双束电镜)产品,适用于自动结构分析、TEM 样品制备以及纳米原型设计。 联系我们 Focused ion beam scanning electron microscopy 学术界和工业界的科学家和工程师不断面临着需要对各种样品和材料进行高度局部表征的新挑战。提高这些材料质量的持续动力意味着常常...
在常见的双束FIB-SEM系统中:电子束垂直于样品台,离子束与样品台呈一定的夹角,工作的过程中需要把样品台旋转至52度位置,此时离子束与样品台处于垂直状态,便于进行加工,而电子束与样品台呈一定的角度,可以观测到截面内部的结构。 图1. FIB-SEM双束系统的结构示意图 离子镜筒结构示意图见附图。液态镓(Ga)离子源使...
聚焦离子束扫描电子显微镜(Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope,简称FIB-SEM)双束系统是指同时具备聚焦离子束(FIB)和扫描电子显微镜(SEM)功能的系统。通过与相应气体沉积装置和纳米操纵仪以及各类探测器和可控样品台及其他配件相结合,使其成为集微区成像,处理和分析于一体、操纵为一体的分析仪器在物理,化学,...
聚焦离子束扫描电子显微镜(Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope,简称FIB-SEM)双束系统是指同时具备聚焦离子束(FIB)和扫描电子显微镜(SEM)功能的系统。通过与相应气体沉积装置和纳米操纵仪以及各类探测器和可控样品台及其他配件相结合,使其成为集微区成像,处理和分析于一体、操纵为一体的分析仪器在物理,化学,...
FIB-SEM截面电镜分析 采用FIB-SEM进行样片加工,对失效区域(即Gatebus)的推刀过程图进行分析。结果显示,由于版图设计考虑,接触孔与沟槽需在此重叠。失效区域的接触孔内的金属往下钻入的沟槽内多晶硅,并直接穿过栅氧与硅外延层直接接触,导致了潜在的短路现象,从而导致gatebus区器件栅氧失效。失效区域FIB-SEM推刀...
聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM)系统全球市场总体规模 2023年全球聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM)系统市场规模大约为595.5百万美元,预计2029年将达到749.4百万美元,未来几年年复合增长率CAGR为3.9%。 聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM)系统,全球市场总体规模,预计2029年达到749.4百万美元 ...
聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM) 型号:Crossbeam340/550 低电压电子束分辨率提升高达30%。 FIB聚焦离子束扫描电镜 无论是二维表面成像或三维重构,蔡司Crossbeam的扫描电子束均可提供的表现。借助于Tandem decel在样品上施加电压,Gemini光学系统可以在1kV下获得高达1.4nm的分辨率,从而对任意样品均可获得的图像。可通过...