使用FIB进行样品切割,SEM进行缺陷定位和成像可切割出30-50nm的薄片,配合EDS/EELS探测器进行TEM/STEM成像和化学性质分析设备的高通量和高分辨率使其成为TEM制样、成像和分析的理想选择 技术参数:FEI Scios2的特点包括:超高分辨率聚焦离子束扫描电子显微镜,适用于高质量样品制备和3D表征结合Thermo Scientific AutoTEM ...
FIB-SEM扫描电镜下观察支架镀层截面形貌,镀层界限明显、结构及晶格形貌清晰,尺寸测量准确。此款支架在常规镀镍层上方镀铜,普通制样方法极其容易忽略此层结构,轻则造成判断失误,重则造成责任纠纷,经济损失! FIB-SEM扫描电镜下观察支架镀层截面形貌。此款支架在镀铜层下方镀有约30纳米的镍层,在FIB-SEM下依然清晰可测!...
DualBeam仪器系列包括多款FIB-SEM聚焦离子束扫描电子显微镜(双束电镜)产品,适用于自动结构分析、TEM 样品制备以及纳米原型设计。 联系我们 Focused ion beam scanning electron microscopy 学术界和工业界的科学家和工程师不断面临着需要对各种样品和材料进行高度局部表征的新挑战。提高这些材料质量的持续动力意味着常常...
FIB-SEM双束系统就是把FIB系统和传统扫描电子显微系统按一定的角度同时装在一个装置上,把试样调节到共心高度位置。这就使得试验时可通过转动试样台使试样表面与电子束或者离子束垂直,从而最终达到对电子束进行实时观测和对离子束进行切割或者微加工等效果。 在常见的双束FIB-SEM系统中:电子束垂直于样品台,离子束与...
本文详细介绍了聚焦离子束(FIB-SEM)的相关知识。 聚焦离子束(FIB)是一种将高能离子流聚焦成细束的仪器,通过将离子束扫描到目标材料上来进行加工。离子与试样相互作用,以纳米精度去除试样原子,实现纳米级加工。FIB结合了完全受控的离子束、高精度样品导航系统和先进信号检测器...
聚焦离子束用于样品微纳米尺度下的切割、刻蚀。 能谱仪(EDS) 厂家:Oxford 型号:Ultim Max 65 用途及功能:用于元素的检测及成分的半定量分析(包括:点扫、线扫、面扫)。 aSTEM探测器(环形扫描透射电子显微镜) 特点及用途:在扫描电镜上配备aSTEM探测器,可对样品同时得到扫描二次电子像和透射像,既可以得到同一位置的...
样品制备:在透射电子显微镜(TEM)和扫描电子显微镜(SEM)分析中,FIB是制备超薄样品截面的理想选择。 三维重构:通过逐层切割和成像,可以构建材料和生物样品的三维结构。集成电路修改和修复:FIB允许对芯片进行局部修改,包括连接路径的切断和重建,是电路设计验证和故障分析的重要工具。原位实验:结合其他分析技术(...
FIB - SEM双束系统是指同时具有聚焦离子束(Focused Ion Beam,FIB)和扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)功能的系统,如图1。本发明能够实现SEM对FIB微加工过程进行实时观察的作用,集电子束高空间分辨率与离子束精细加工等优点于一体。 其中FIB就是把液态金属离子源输出的离子束加速后聚焦在试样表面...
FIB - SEM双束系统是指同时具有聚焦离子束(Focused Ion Beam,FIB)和扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)功能的系统,如图1。本发明能够实现SEM对FIB微加工过程进行实时观察的作用,集电子束高空间分辨率与离子束精细加工等优点于一体。 其中FIB就是把液态金属离子源输出的离子束加速后聚焦在试样表面生成二...
聚焦离子束扫描电子显微镜(Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope,简称FIB-SEM)双束系统是指同时具备聚焦离子束(FIB)和扫描电子显微镜(SEM)功能的系统。通过与相应气体沉积装置和纳米操纵仪以及各类探测器和可控样品台及其他配件相结合,使其成为集微区成像,处理和分析于一体、操纵为一体的分析仪器在物理,化学,...