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最初,椭偏仪的工作波长多为单一波长或少数独立的波长,最典型的是采用激光或对电弧等强光谱光进行滤光产生的单色光源。大多数的椭偏仪在很宽的波长范围内以多波长工作(通常有几百个波长,接近连续)。 和单波长的椭偏仪相比,光谱型椭偏仪有下面的优点:可以提升多层探测能力,可以测试物质对不同波长光波的折射率等。
1 引言 椭圆偏振光谱仪(ellipsometer),简称椭偏仪,是一种利用材料的光学特性进行光学常数、微结构分析和薄膜厚度测量的一种仪器。由于椭偏仪的测量过程不需要与样品直接接触,不会对材料表面造成损…阅读全文 赞同34 2 条评论 分享收藏 椭偏仪介绍 通天地 深圳大学 电子与通信工程硕士 椭偏...
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椭偏仪是一种测量薄膜特性的仪器。可以测量薄膜的厚度、折射系数、表面粗糙度、晶格结构和各项异性等。 椭偏仪的测量原理有些特别,叫做model-based,意思是说椭偏仪无法直接得到上述这些参数,需要通过数据拟合才能得到这些参数,在做数据拟合的时候,所采用的模型(model)很重要。
椭偏仪(五)-椭偏仪数据处理模型:偏振光波通过介质时与介质发生相互作用,这种相互作用将改变光波的偏振态,测出这种偏振态的变化,进而进行分析拟合,得出我们想要的信息。椭偏仪