检测类型 椭偏仪测试 样品要求 薄膜 多层膜 需要有陪片 具体要求 请与技术经理确认 收费方式 先测后付 售后保障 免费复测 所属公司 成都世纪美扬科技有限公司 所属行业 科技服务 服务性质 第三方专业检测机构 服务范围 全国 总部 成都 科研团队 500+ 人员学历 100%硕博 自营实验室 30+ 平均测...
在本实验中,我们将使用椭偏仪来测量一种薄膜的厚度。 实验仪器: 1. 椭偏仪 2. 两盏钠灯 3. 偏振片 4. 已知厚度的标准玻璃片 5. 微米卡尺 实验步骤: 1. 将两盏钠灯分别放在椭偏仪两侧,以产生平行的线偏振光。 2. 将标准玻璃片放在椭偏仪的样品台上,用微米卡尺测量其厚度。 3. 调整椭偏仪的光路,使得标准...
椭偏仪是利用椭圆偏振光在样品表面反射后偏振状态的变化来测量固体上介质薄膜的厚度和折射率。这种方法具有测量范围宽、精度高、非破坏性和应用范围广等特点。椭偏仪不仅可以测量透明和半透明薄膜,还可以测量金属薄膜,因此在多个领域中都有重要应用。 二、椭偏仪的测量范围 椭偏仪的测量范围非常广泛,理...
椭圆偏振仪—薄膜厚度测量 椭圆偏振测量是一种通过分析偏振光在待测薄膜样品表面反射前后偏振状态的改变来获得薄膜材料的光学性质和厚度的一种光学方法。椭偏法测量的基本思路是,起偏器产生的线偏振光经取向一定的 波片后成为特殊的椭圆偏振光,把它投射到待测样品表面时,只要起偏器取适当的透光方向,被待测样品表面反射...
椭偏仪是一种基于椭圆偏振光测量技术的仪器,通过分析光波经过薄膜样品后的偏振状态变化,可以精确测量出薄膜的厚度和光学常数。这种方法具有非接触性、高精度和快速测量等优点,广泛应用于科研和工业领域。 二、识别精度及影响因素 椭偏仪测量薄膜厚度的识别精度主要受到仪器本身性能、测量条件以及样品性...
椭偏仪是一种广泛应用于物理、材料科学等领域的精密测量仪器,用于测定薄膜的厚度和折射率。然而,在实际测量过程中,由于各种因素的影响,测量结果往往存在一定的误差。本文将从误差来源和解决方法两个方面进行分析。 一、误差来源 1. 仪器精度:椭偏仪的测量精度受到其自身部件精度的限制...
这就是椭偏仪测量薄膜的基本原理。若d是已知,n2为复数的话,也可求出n2的实部和虚部。那么,在实验中是如何测定ψ和Δ的呢?现用复数形式表示入射光和反射光: 由式(3)和(12),得: 其中: 这时需测四个量,即分别测入射光中的两分量振幅比和相位差及反射光中的两分量振幅比和相位差,如设法使入射光为等幅...
椭偏仪测量薄膜厚度的首要优点是其高精度。在科研和工业生产中,对薄膜厚度的精确控制至关重要。椭偏仪利用椭圆偏振光在薄膜表面反射和透射时的变化来测量厚度,其精度通常可达纳米级别。这种高精度的测量能力使得椭偏仪在微电子学、光学、材料科学等领域具有广泛的应用价值。 二、非接触性测量 椭偏仪采用非接...
实验 用椭偏仪测量薄膜厚度 在半导体平面工艺中，SiO 2薄膜是不可缺少的重要材料。它既可以被作为杂质掩蔽、表面钝化和器件的电隔离材料，也可以用作电容器的介质和MOS 管的绝缘栅介质等。无论SiO 2膜用作哪一种用途的材料，都必须准确的测定和控制它的厚度。另外，折射率也是表征SiO 2膜性质的重要参数之一，...
自动光谱椭偏仪可以配置光谱椭偏仪以覆盖从 DUV 到 NIR 的宽波长范围。DUV 范围可用于测量超薄膜,如纳米厚度范围。一个例子是硅晶片上的原生氧化物,通常只有大约 1 到 2 纳米厚。当用户需要测量多种材料的带隙时…