椭偏仪测折射率和薄膜厚度实验装置包括:激光器(氦氖或半导体)、分光计、光栏、望远镜、黑色反光镜、薄膜样品、起偏器、检偏器、1/4波片。 实验内容 1.熟悉并掌握椭偏仪的调整 椭偏仪实物图椭偏仪结构示意图 椭偏仪的实物如上图所示。了解图中各部件的作用,并学会正确调整。 2.调整光路,并使入射到样品的光为等...
这就是椭偏仪测量薄膜的基本原理。若d是已知,n2为复数的话,也可求出n2的实部和虚部。那么,在实验中是如何测定ψ和Δ的呢?现用复数形式表示入射光和反射光: 由式(3)和(12),得: 其中: 这时需测四个量,即分别测入射光中的两分量振幅比和相位差及反射光中的两分量振幅比和相位差,如设法使入射光为等幅...
椭偏仪测量薄膜厚度和折射率 近代科学技术中对各种薄膜的研究和应用日益广泛.因此,能够更加迅速和精确地测 量薄膜的光学参数例如厚度和折射率已变得非常迫切. 在实际工作中可以利用各种传统的方法来测定薄膜的光学参数,如布儒斯特角法测介 质膜的折射率,干预法测膜.另外,还有称重法、X射线法、电容法、椭偏法等等....
椭偏仪测量薄膜厚度和折射率 实验目的: 1.了解椭偏仪测量薄膜参数的原理. 2.初步掌握反射型椭偏仪的使用方法. 实验原理: 在一光学材料上镀各向同性的单层介质膜后,光线的反射和折射在一般情况下会同时存在的.通常,设介质层为n1、n2、n3,φ1为入射角,那么在1、2介质交界面和2、3介质交界面会产生反射光和折射...
椭偏仪测量薄膜厚度和折射率讲义
1、椭偏仪测量薄膜厚度和折射率近代科学技术屮对各种薄膜的研究和应用li益广泛。因此,能够更加迅速和精确地测 量薄膜的光学参数例如厚度和折射率己变得非常迫切。在实际工作中可以利用各种传统的方法来测定薄膜的光学参数,如布儒斯特介法测介 质膜的折射率,干涉法测膜。另外,还有称重法、x射线法、电容法、椭偏法...
7、望远镜筒8半反目镜9、光电探头10、信号线11、分光计12、数字式检流计椭偏仪测量薄膜厚度和折射率【引言】椭圆偏振测量(椭偏术)是研究两媒质界面或薄膜中发生的现象及其特性的一种光学方法,其原理是利用偏振光束在界面或薄膜上的反射或透射时出现的偏振变换。椭圆偏振测量的应用范围很广,如半导体、光学掩膜、圆晶、...
椭偏仪测量薄膜厚度和折射率实验
椭偏仪测量薄膜厚度和折射率 【引言】 椭圆偏振测量(椭偏术)是研究两媒质界面或薄膜中发生的现象及其特性 的一种光学方法,其原理是利用偏振光束在界面或薄膜上的反射或透射时出现 的偏振变换。椭圆偏振测量的应用范围很广,如半导体、光学掩膜、圆晶、 金属、介电薄膜、玻璃(或镀膜)、激光反射镜、大面积光学膜、有机...
了解椭圆偏振测量的基本原理,掌握利用椭偏仪测量薄膜厚度和折射率的基本方法。2. 学会组装椭圆偏振仪,熟悉椭圆偏振仪使用。实验原理:椭圆偏振 2、法测量的基本思路是,经由起偏器产生的线偏振光经取向一定的1/4波片后获得等幅椭圆偏振光,把它投射到待测样品表面时,只要起偏器取适当的透光方向,被待测样品表面反射出来...