三、如何提高普通振镜重复定位精度? 1.改善振镜本身的结构和材料,提高其精度和稳定性。 2.优化控制系统的设计和软件算法,提高其精度和稳定性。 3.使用高精度的机械和电气件,防止机械和电气件的损耗和失效。 4.优化振镜系统的工作环境,减少环境和外部因素对振镜的影响。 综上所述,普通振镜重复定位精度...
5.如权利要求4所述的测量激光振镜重复定位精度的方法,其特征在于:所述参考平面距离所述激光振镜的距离为20cm。 6.如权利要求1所述的激光振镜重复定位精度的测量方法,其特征在于:所述单正弦线激光发生器包括线激光器和正弦光栅,所述线激光器发射的激光通过所述正弦光栅后投射到所述激光振镜上。 说明书 技术领域 本...
本发明公开了一种激光振镜重复定位精度的测量方法,涉及激光测量领域,包括步骤:单正弦线激光发生器向激光振镜投射正弦分布的线激光;激光振镜将线激光反射到参考平面上,计算机控制振镜从最小角度到最大角度扫描一次,扫描间隔根据6步相移法计算出的步距来决定,相机采用慢曝光模式,振镜完成一次完整的扫描后相机也完成一幅图...
本发明涉及一种振镜重复定位精度检测装置及方法,其包括:激光器组件,准直扩束镜,分光镜,振镜,第一聚焦镜头,第一图像传感器,第二聚焦镜头,第二图像传感器,振镜控制组件,控制单元以及计算单元;所述第一传感器用于获取所述参考光束的光斑图像;所述第二图像传感器用于获取所述测试光束的光斑图像;所述控制单元用于通过振镜控...
1. 一种激光振镜重复定位精度的测量方法,其特征在于,包括步骤: 提供一种激光振镜重复定位精度的测量装置,所述装置包括一单正弦线激光发生器、 一激光振镜、一参考平面、一照相设备和一计算机; 所述单正弦线激光发生器向所述激光振镜投射正弦分布的线激光; 所述计算机控制所述激光振镜从最小角度到最大角度扫描,期间...
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然而,由于各种原因,例如机械结构的磨损、传动系统精度的损失等,振镜的移动精度会随时间逐渐下降,这就是振镜重复定位精度问题。 为了解决这个问题,可以从以下几个方面入手: 1. 选用更高精度的机械结构和传动系统:高精度机械结构和传动系统可以减小由于机械结构的磨损和传动系统精...
振镜重复定位精度的首要影响因素是机械设计问题。振镜的重复定位精度与其结构设计密切相关,包括材料选择、加工精度、零部件配合等方面。如果振镜的机械结构设计不合理,无论后期调试如何,其重复定位精度都无法达到理想水平。 二、环境温度影响 振镜重复定位精度还受到环境温度的影响。当温度变化时,...
首先,振镜的重复定位精度是指,在一连串的加工过程中,振镜重复返回同一位置的能力。它通常用位置误差表示,即:单位为um或nm,表示重复加工时位置偏差的大小。而加工面的重复定位精度则是指在一系列数字化加工之后,在加工面上形成的特征(如微小孔洞、坑槽等)的重复定位精度。它...