振镜的镜片形状也会影响其重复定位精度。如果镜片的形状不规则,那么就无法精确坐标位置,导致振镜性能下降。因此,在制造振镜时必须控制其镜片形状,确保其符合规定标准。 综上所述,振镜重复定位精度的产生原因有很多,包括机械设计、环境温度、驱动电流波形和镜片形状等方面。只有全面分析这些因素,才...
重复测量若干次,得到该像素点的若干展开相位,所述计算机对所有展开相位进行统计方差计算,得到所述激光振镜的重复定位精度。 2.如权利要求1所述的激光振镜重复定位精度的测量方法,其特征在于:所述N步相移法为六步相移法,所述激光振镜扫描的起始位置相位依次增加60°,扫描6次,所述照相设备可以获取到6幅条纹图像,所述...
本发明涉及一种振镜重复定位精度检测装置及方法,其包括:激光器组件,准直扩束镜,分光镜,振镜,第一聚焦镜头,第一图像传感器,第二聚焦镜头,第二图像传感器,振镜控制组件,控制单元以及计算单元;所述第一传感器用于获取所述参考光束的光斑图像;所述第二图像传感器用于获取所述测试光束的光斑图像;所述控制单元用于通过振镜控...
1. 一种激光振镜重复定位精度的测量方法,其特征在于,包括步骤: 提供一种激光振镜重复定位精度的测量装置,所述装置包括一单正弦线激光发生器、 一激光振镜、一参考平面、一照相设备和一计算机; 所述单正弦线激光发生器向所述激光振镜投射正弦分布的线激光; 所述计算机控制所述激光振镜从最小角度到最大角度扫描,期间...
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1.振镜本身质量和精度:振镜本身的形状、材质、尺寸等都会影响精度的大小。 2.控制系统的稳定性:振镜控制系统的精度和稳定性,也会影响重复定位精度的大小。例如,温度变化、电压波动等因素都可能对精度产生影响。 3.机械和电气件的精度:机械结构的精度和加工精度,电气件的质量和精度也会影响振镜重复定位精度...
3. 提高控制系统的精度:可以采用更高精度的控制系统,根据振镜的实际情况进行控制,以保证振镜的移动精度。 总之,振镜长期温飘和振镜重复定位精度问题在实际应用中都面临一定的挑战,但是我们可以通过加强振镜的稳定性、提高控制系统的精度和定期维护等措施来解决这些问题。
首先,振镜的重复定位精度是指,在一连串的加工过程中,振镜重复返回同一位置的能力。它通常用位置误差表示,即:单位为um或nm,表示重复加工时位置偏差的大小。而加工面的重复定位精度则是指在一系列数字化加工之后,在加工面上形成的特征(如微小孔洞、坑槽等)的重复定位精度。它...
相机也完成一幅图像的获取,通过计算机控制振镜,使扫描的起始位置相位依次增加60°,扫描6次,获取到6幅条纹图像,根据每幅图像中某像素点的光强分布则可以计算出该点的包裹相位,对包裹相位进行展开即得到该像素点的展开相位,重复测量若干次得到多幅该像素点的展开相位图,对其进行统计方差计算,即得到振镜的重复定位精度。