振镜的镜片形状也会影响其重复定位精度。如果镜片的形状不规则,那么就无法精确坐标位置,导致振镜性能下降。因此,在制造振镜时必须控制其镜片形状,确保其符合规定标准。 综上所述,振镜重复定位精度的产生原因有很多,包括机械设计、环境温度、驱动电流波形和镜片形状等方面。只有全面分析这些因素,才...
相机也完成一幅图像的获取,通过计算机控制振镜,使扫描的起始位置相位依次增加60°,扫描6次,获取到6幅条纹图像,根据每幅图像中某像素点的光强分布则可以计算出该点的包裹相位,对包裹相位进行展开即得到该像素点的展开相位,重复测量若干次得到多幅该像素点的展开相位图,对其进行统计方差计算,即得到振镜的重复定位精度。
振镜重复定位精度检测装置专利信息由爱企查专利频道提供,振镜重复定位精度检测装置说明:本申请提供了一种振镜重复定位精度检测装置,包括:反射分光镜,用于接收激光束并将所述激光束分为测...专利查询请上爱企查
一种振镜重复定位精度检测装置和方法专利信息由爱企查专利频道提供,一种振镜重复定位精度检测装置和方法说明:本发明涉及一种振镜重复定位精度检测装置及方法,其包括激光器组件、准直扩束镜、分光镜、振镜、第一...专利查询请上爱企查
目前,对振镜重复定位精度的检测多只关注检测指标本身,并未考虑检测环境对振镜重复定位精度的影响,使得最终获得的重复定位精度数据精确度不高。 发明内容 本发明的目的是提供一种振镜重复定位精度检测装置和方法,其通过将激光光束分为参考光束和测试光束,并获取两路光束的光斑图像抵消掉误差,从而使振镜的位置检测结果更为...
本发明涉及一种振镜重复定位精度检测装置及方法,其包括:激光器组件,准直扩束镜,分光镜,振镜,第一聚焦镜头,第一图像传感器,第二聚焦镜头,第二图像传感器,振镜控制组件,控制单元以及计算单元;所述第一传感器用于获取所述参考光束的光斑图像;所述第二图像传感器用于获取所述测试光束的光斑图像;所述控制单元用于通过振镜控...
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35.在一实施例中,振镜重复定位精度检测装置包括:反射分光镜110,用于接收激光束并将激光束分为测试激光束和基准激光束,测试激光束射入振镜150入光口;基板120,设置于反射分光镜110一侧,设置有多个psd传感器130,基板120设置有多个psd传感器130的一面朝向振镜150的出光口,基准激光束照射到的psd传感器130为基准传感器,振镜150...