聚焦离子束(FIB)结合扫描电子显微镜(SEM)的双束系统,以其在微观尺度上的高精度加工和实时观察能力,成为纳米器件制造和纳米结构加工的关键技术。FIB技术在微纳米加工、集成电路修复和材料科学研究等多个领域发挥着重要作用。 图1 聚焦离子束扫描电镜中离子束系统结构示意图 FIB双束系统的组成与原理 FIB双束系统由离子...
新一代 Thermo Scientific Helios 5 DualBeam 具有 Helios DualBeam 显微镜产品系列领先业界的高性能电子显微镜成像和分析性能。它经过精心设计,可满足材料科学研究人员和工程师对各种聚焦离子束扫描电子显微镜 (FIB-SEM) 的需求 - 即使是最具挑战性的样品。 Helios 5 DualBeam 重新定义了 高分辨率成像的标准:高材料...